[实用新型]一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置有效
| 申请号： | 201120495384.0 | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN202395009U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张啸潮 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 先洗磷后 刻蚀 清洗 抽风 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置，其特征在于：包括抽风管（4），在抽风管（4）上分布有抽风口（5），导流槽（6）位于抽风管（4）的下方，在抽风管（4）与导流槽（6）之间设有支撑架（7）。
2.如权利要求1所述的一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置，其特征在于：所述抽风管（4）位于硅片（2）上方，安装方向垂直于硅片（2）的运行方向。
3.如权利要求1所述的一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置，其特征在于：所述抽风口（5）的开口方向平行于水平方向。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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