[实用新型]一种真空退火炉有效
| 申请号： | 201120491317.1 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202430256U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 徐松林 | 申请（专利权）人： | 南京威途真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26;C21D1/773;C21D9/00 |
| 代理公司： | 广州天河互易知识产权代理事务所(普通合伙) 44294 | 代理人： | 尹箐 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 退火炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空退火炉，其特征在于：
包括真空炉体、油扩散泵、第一真空挡板阀、第二真空挡板阀、第三真空挡板阀、空气过滤器、第一真空泵、充气阀、第二真空泵；
所述真空炉体连接在第一真空挡板阀的右侧，所述第二真空挡板阀的右侧连接第一真空挡板阀的左侧，所述第一真空挡板阀的底端连接油扩散泵；
所述油扩散泵的左侧连接第三真空挡板阀的底端；
所述第二真空挡板阀的底端连接空气过滤器的右侧；
所述空气过滤器的底端同时连接第三真空挡板阀的左侧和第一真空泵；
所述第一真空泵的左侧连接充气阀，所述充气阀连接第二真空泵。
2.根据权利要求1所述的一种真空退火炉，其特征在于：
所述充气阀为电磁真空带充气阀。
3.根据权利要求1所述的一种真空退火炉，其特征在于：
所述的第一真空泵为罗茨真空泵。
4.根据权利要求1所述的一种真空退火炉，其也正在于：
所述的第二真空泵为旋片真空泵。
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