[实用新型]一种射频电源电极引入真空腔体的装置

权利要求书

1.一种射频电源电极引入真空腔体的装置，包括射频功率电源，匹配器，电极及真空腔体，其特征在于电极接入真空腔体为真空电极，该电极是由分离的内外两个屏蔽、密封部件构成，外部件和内部件分别由外部阳极和外部阴极、内部阳极和内部阴极构成；阳极部件由外部阳极和内部阳极两个部件构成，且安装在真空腔体外壁接地；阴极部件由外阴极和内阴极两个部件构成，内部阴极头部接阴极靶板，外部阴极内的导电螺杆贯通绝缘片至内部阴极，并与真空腔体内阴极靶板连接。

2.根据权利要求1所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的阳极部件是一个带孔的阶梯形轴法兰，该法兰前端轴伸入真空腔体内，且与真空腔体密封、紧密结合。

3.根据权利要求2所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的阳极部件的内部阳极是一个带孔的阶梯形轴法兰，在该轴法兰大端面中间有沉孔和通孔，内部阴极穿越该内部阳极中间通孔进入真空腔体，所说内部阳极通孔对内部阴极形成绝缘屏蔽。

4.根据权利要求2所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阳极是一个带通孔的阶梯轴法兰，在法兰大端面有沉孔，该沉孔中间有通孔容纳外部阴极，通孔的内表面与射频电源输入端的正极紧密接触；由导电螺栓连接内部阳极和外部阳极，固定在真空腔体阳极接地。

5.根据权利要求1所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的内部阴极是一个轴导电体，该导电体前端带外螺纹、后端有内螺纹孔，轴的前端外螺纹和真空腔体内部的阴极靶板的电缆接头相连，后端内螺纹与阴极螺杆连接。

6.根据权利要求1所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阴极是一个带阶梯孔的导电轴，在其轴体的孔壁上开有弹性切口，该轴体与射频电源输入端口的阴极插入孔壁内表面紧密接触，阶梯孔的另一端面的有小孔内有密封槽，其内装密封圈压紧在绝缘片上。

7.根据权利要求6所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阴极内的螺杆是一个导电体，螺杆是一中间大两头小的阶梯轴，一头有外螺纹，外螺纹旋入内部阴极，螺杆的中间端面有密封槽，装入密封圈压紧在外部阴极的阶梯孔的大孔内端面，外部阴极通过螺杆与内部阴极连接导通。

8.根据权利要求1所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阴极和内部阳极之间放置绝缘片。

9.根据权利要求7所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阴极，其外部阴极其内径小于射频电源的匹配器输出端阴极导体的外径。

10.根据权利要求9所述的射频电源电极引入真空腔体的装置，其特征在于所说的外部阴极包括具有弹性切口的输入端。