[实用新型]石英坩埚底部送料装置

权利要求书

1.一种石英坩埚底部送料装置，其特征在于：包括第三气缸(3)以及设置在第三气缸(3)上方的第一气缸(1)和第二气缸(2)，所述第一气缸(1)和第二气缸(2)平行设置，所述第一气缸(1)和第二气缸(2)均与第三气缸(3)相垂直，所述第三气缸(3)的缸体前端与第二气缸(2)的输出活塞连接，所述第三气缸(3)的缸体后端与第一气缸(1)的输出活塞连接；所述第三气缸(3)的输出活塞上安装有喷砂枪。

2.按照权利要求1所述的石英坩埚底部送料装置，其特征在于：所述喷砂枪包括喷砂枪枪体(6)，所述喷砂枪枪体(6)为中空腔体，所述喷砂枪枪体(6)的前端面上安装有石英砂输送管(4)，所述喷砂枪枪体(6)的上端安装有喷砂枪进气管(5)，所述喷砂枪枪体(6)的下端安装有喷砂枪喷头(7)，所述石英砂输送管(4)、喷砂枪进气管(5)和喷砂枪喷头(7)均与喷砂枪枪体(6)相连通。

3.按照权利要求2所述的石英坩埚底部送料装置，其特征在于：所述喷砂枪喷头(7)与第一气缸(1)、第二气缸(2)和第三气缸(3)均垂直。

4.按照权利要求2所述的石英坩埚底部送料装置，其特征在于：所述喷砂枪喷头(7)的形状为狭长形。

5.按照权利要求1或2所述的石英坩埚底部送料装置，其特征在于：所述第一气缸(1)、第二气缸(2)和第三气缸(3)均为无杆气缸。