[实用新型]一种射频及混合信号集成电路测试系统校准装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路测试系统计量与测试技术领域，具体地说是一种适用于射频及混合信号集成电路测试系统的校准装置。

背景技术

集成电路测试系统是半导体集成电路的设计、生产、使用中进行量值测量的设备。作为一种测试系统，其本身的准确性与可靠性将直接影响整个测试过程，只有计量过的集成电路测试系统才能确保其所复现的量值能通过一条不确定度已知的溯源链与基准量值相联系。一般集成电路测试系统都配有自检软件，但这些检验都是封闭性的，未从系统溯源到国际或国家标准，只能验证测试系统功能正确与否但不能确定系统的测量误差。目前使用的射频及混合信号集成电路测试系统越来越多，这类集成电路测试系统其频段高端可至毫米波与亚毫米波，低端则可从直流开始。因此这类集成电路测试系统功能较为复杂，参数及计量单位也变化无穷。随着集成电路测试设备的技术不断更新，对集成电路测试系统的计量提出了新的要求，特别是射频及混合信号集成电路测试系统具有复杂性和多样性，对其进行校准及量值溯源面临很大的压力。因此，研究一种适合高端射频及混合信号集成电路测试系统的校准装置，对系统各项指标进行精确计量并能溯源到国家标准，具有重要的意义。

发明内容

本实用新型的目的是设计一种射频及混合信号集成电路测试系统的校准装置，该装置具有校准参数种类多、校准量程范围广、技术指标高的特点，能够满足高端射频及混合信号集成电路测试系统各项指标精确计量的要求，并能溯源到国家标准，确保其所复现的量值能通过一条不确定度已知的溯源链与基准量值相联系。

一种射频及混合信号集成电路测试系统校准装置，其特征在于，包括外接标准仪器、LAN/GPIB网关、校准适配单元、连接电缆。校准装置与测试系统组成一个闭环系统，通过测试系统的计算机运行校准软件对测试系统进行自动校准并进行量值溯源。

外接标准仪器采用进口的分立台式仪器，且其技术指标高于被校集成电路测试系统3倍。外接标准仪器包括多功能校准源、数字多用表、任意波形产生器、峰值电压表、射频信号源、测量接收机，采用局域网技术通过GPIB接口实现系统计算机和标准仪器间的通信。外接标准仪器基于GPIB总线或RS232总线与LAN/GPIB网关互联；LAN/GPIB网关与测试系统的工作站通过以太网建立TCP/IP连接，实现控制信号的同步和数据的传输；校准软件由测试系统的工作站执行；外接标准仪器通过接口及连接线缆与校准适配单元连接；校准适配单元在校准时直接置于测试系统的测试头上。校准装置与被校测试系统之间通过LAN/GPIB网关进行网络连接，测试系统通过标准仪器控制库SICL控制LAN/GPIB网关发送SCPI标准仪器命令对GPIB/RS232仪器进行编程以发出激励或测量数据。校准软件通过“校准应用程序”、“软件接口”、“仪器驱动程序”控制标准仪器。

本实用新型一种射频及混合信号集成电路测试系统校准装置的优点是：

(1) 采用整体原位校准，校准程序由集成电路测试系统的计算机自动运行，其结果符合实际使用情况且校准方便；

(2) 标准仪器采用进口的分立台式仪器，能满足高端集成电路测试系统高精度计量的要求；

(3) 利用局域网技术实现主计算机和系统仪器间的通信，具有组织结构成简单，容易实现等特点；

(4) 通过标准参考源从系统末端溯源到国家基准，可以保证测试系统测量结果的准确性、可靠性和一致性。

附图说明

图1 为本实用新型的校准装置构建示意图。

图2 为本实用新型的校准装置网络连接图。

图3 为本实用新型的校准软件结构图。

图4 为本实用新型的分项校准过程图。

具体实施方式

下面结合说明书附图来说明本专利的具体实施方式。

本实用新型针对射频及混合信号集成电路测试系统参数种类多、量程范围广、技术指标高的特点，选择进口分立台式仪器构建校准装置并开发了校准软件，能够对高端射频及混合信号集成电路测试系统各项指标进行全自动、全量程精确计量。