[实用新型]表面处理设备

权利要求书

1.一种表面处理设备，其特征在于，设置在一基板的一传输装置周围，该基板置放在该传输装置朝一预定传输方向传送，该预定传输方向与该传输装置的一轴向方向平行，该表面处理设备包括：

一第一液体喷嘴，可调整角度地设置在该传输装置的上方，且该第一液体喷嘴的轴向方向与该传输装置的轴向方向垂直；

一第二液体喷嘴，可调整角度地设置在该传输装置上方并朝该预定传输方向与该第一液体喷嘴间隔一第一预定距离，且该第二液体喷嘴的轴向方向与该传输装置的轴向方向垂直，该第一液体喷嘴及该第二液体喷嘴相互面对地倾斜一第一角度；

一第一液位挡板，设置在该传输装置的其中一侧且与该传输装置相互间隔一空隙，并位于该第一液体喷嘴与该第二液体喷嘴间隔的该第一预定距离内；以及

一第二液位挡板，设置在该传输装置远离该第一液位挡板的一侧且与该传输装置相互间隔该空隙，并位于该第一液体喷嘴与该第二液体喷嘴间隔的该第一预定距离内。

2.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，该第一液体喷嘴及该第二液体喷嘴用以喷洒出化学液。

3.根据权利要求1所述的表面处理设备，其特征在于，更包括一第三液体喷嘴，设置在该传输装置下方，且该第三液体喷嘴与该第二液体喷嘴朝该预定传输方向间隔一第二预定距离，而第三液体喷嘴朝与该预定传输方向的相反方向面对该传输装置而倾斜一第二角度。

4.根据权利要求3所述的表面处理设备，其特征在于，该第三液体喷嘴用以喷洒出纯水。

5.根据权利要求3所述的表面处理设备，其特征在于，更包括一第一气体喷嘴及一第二气体喷嘴，该第一气体喷嘴设置在该传输装置上方，且与该第三液体喷嘴朝该预定传输方向间隔一第三预定距离，该第二气体喷嘴设置在该传输装置下方并相对应该第一气体喷嘴设置，且该第一气体喷嘴与该第二气体喷嘴朝与该预定传输方向的相反方向面对该传输装置而倾斜一第三角度。 

6.根据权利要求5所述的表面处理设备，其特征在于，更包括至少一第三气体喷嘴及至少一第四气体喷嘴，该第三气体喷嘴与该第一气体喷嘴间隔一第四预定距离并设置在该传输装置上方，该第四气体喷嘴与该第二气体喷嘴间隔该第四预定距离并设置在该传输装置下方，且与该第三气体喷嘴相对应设置，且该第三气体喷嘴与该第四气体喷嘴朝与该预定传输方向的相反方向面对该传输装置而倾斜一第四角度。

7.根据权利要求6所述的表面处理设备，其特征在于，该至少一第三气体喷嘴为多个第三气体喷嘴，并朝该预定传输方向而相互间隔设置，该至少一第四气体喷嘴为多个第四气体喷嘴，并朝该预定传输方向而相互间隔设置，该多个第三气体喷嘴的数量相对应该多个第四气体喷嘴的数量。

8.根据权利要求2所述的表面处理设备，其特征在于，该化学液为Na₂S、NaF或NaOH。