[实用新型]单晶炉石英坩埚炉外装料的装置有效
| 申请号： | 201120482658.2 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN202359225U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 唐海亮;杨林;刘贤 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 石英 坩埚 装料 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于，
包括石英坩埚(1)及底座，所述的底座与石英坩埚(1)相匹配，所述的底座上铺有碳纤维(3)，石英坩埚(1)置于碳纤维(3)上，碳纤维(3)上设有网眼(4)。
2.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于：所述的碳纤维(3)的面积大于石英坩埚(1)的底面面积。
3.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于：所述的碳纤维(3)上沿设有至少三个网眼(4)。
4.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于：所述的碳纤维(3)的厚度为0.2-0.5mm。
5.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于：所述的碳纤维(3)为网格状或面状。
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