[实用新型]一种微细电铸层填充程度在线监测装置

权利要求书

1.一种微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒，检测滚筒连接监测电源的正极，电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极。

2.根据权利要求1所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的电流表与监测电源负极之间还串联有可调电阻和熔断器。

3.根据权利要求1或2所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的监测电源为直流电源。

4.根据权利要求3所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的检测滚筒包括由惰性金属制成的导电滚筒，导电滚筒表面设置有多个贯穿孔，导电滚筒的两个圆形侧面设置有滚筒辐板，滚筒辐板上设置有滚轴。

5.根据权利要求4所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的惰性金属为铂、钛或金。

6.根据权利要求4所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的贯穿孔形状为圆形、正六边形或方形，孔半径或边长为50～100μm，孔间筋宽为50～100μm。

7.根据权利要求4所述的微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：所述的导电滚筒外径为10～15mm，长为20～100mm。