[实用新型]镀膜用的石墨舟卡点有效
申请号: | 201120465401.6 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN202359195U | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 崔鹏超;李华;李文;钱应五 | 申请(专利权)人: | 浙江正国太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人: | 唐迅 |
地址: | 314500 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 石墨 舟卡点 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造行业,尤其是一种镀膜用的石墨舟卡点。
背景技术
电池行业是21世纪的朝阳行业,发展前景十分广阔。在电池行业中,最没有污染、市场空间最大的应该是太阳能电池,太阳能电池的研究与开发越来越受到世界各国的广泛重视。
PECVD是太阳能电池制作中一道重要的工序,太阳能电池的效率的提升很大程度上因其镀了一层氮化硅膜,而石墨舟卡点为硅片提供支点和卡紧硅片的作用,目前石墨舟卡点寿命较短,更换比较困难,因此新型石墨舟卡点解决了这方面的问题。
现有石墨舟卡点首先使用寿命较短,一般要4-5个月要更换卡点,并且更换要专门人员负责更换,一般为返厂更换和厂家更换,更换周期较长,因此对产量都有一定的影响。其次现有石墨舟卡点的安装为打钉方式,石墨舟舟片较薄,容易使舟片受到损伤,隐裂等。再次原有石墨舟卡点的损坏会致使整个舟陷入瘫痪无法正常使用。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而设计的一种镀膜用的石墨舟卡点,这种石墨舟卡点使用寿命长,方便更换,从而提高电池片的产量。
本实用新型所设计的镀膜用的石墨舟卡点,包括相配合的第一卡点和第二卡点,所述第一卡点一端为锥形,另一端设有螺纹孔;所述第二卡点一端为锥形,另一端设有与第一卡点螺纹孔螺纹配合的螺纹段。
作为优选,所述的第一卡点和第二卡点为石墨材质;采用石墨材质,使其石墨优良的导热性能和导电性能得到发挥,达到更好的镀膜效果。
本实用新型所得的镀膜用的石墨舟卡点,采用锥形结构使得所插的硅片受到重力势能不能发生侧移,很好的解决了硅片与石墨舟贴合不紧密导致的色差问题,降低该工序的返工率。另外新型石墨舟卡点的螺纹设计不会因一两个卡点的问题造成该舟不能正常使用的问题,它可随时更换与拆卸,对提高产量等有着现实的意义。
附图说明
图1是实施例1石墨舟卡点的结构示意图;
图2是实施例1石墨舟卡点的使用状态图;
图中:第一卡点1、第二卡点2、螺纹孔3、螺纹段4、石墨舟5、石墨舟卡点6。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
实施例1:
如图1、2所示,本实施例所描述的镀膜用的石墨舟卡点6,包括相配合的第一卡点1和第二卡点2,所述第一卡点1一端为锥形,另一端设有螺纹孔3;所述第二卡点2一端为锥形,另一端设有与第一卡点1螺纹孔3螺纹配合的螺纹段4。所述的第一卡点1和第二卡点2为石墨材质;采用石墨材质,使其石墨优良的导热性能和导电性能得到发挥,达到更好的镀膜效果。
本实用新型所得的镀膜用的石墨舟5卡点,采用锥形结构使得所插的硅片受到重力势能不能发生侧移,很好的解决了硅片与石墨舟5贴合不紧密导致的色差问题,降低该工序的返工率。另外新型石墨舟5卡点的螺纹设计不会因一两个卡点的问题造成该舟不能正常使用的问题,它可随时更换与拆卸,对提高产量等有着现实的意义。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型的构思作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的