[实用新型]高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统

权利要求书

1.一种高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，其特征在于：所述测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的光电位移传感装置，所述三维气浮组件包括固定板、x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，所述三个方向的光电位移传感装置分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上，用以测量x向、y向和z向位移；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，所述x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，所述y向气浮套与z向气浮套固定连接，所述z向气浮轴可滑动地安装在所述z向气浮套上；

所述细绳的上端与被测件连接，所述细绳的下端与所述三维气浮组件的z向气浮轴连接。

2.如权利要求1所述的高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，其特征在于：x向光电位移传感装置由光栅尺和读数头组成；y向光电位移传感装置包括y向光电转化发射器和y向接收器，z向光电转化发射装置及接收装置包括一级z向光电转化发射器、一级z向光电转化接收器、二级z向光电转化发射器和二级z向光电转化接收器，其中，所述光电转化发射器由光栅尺和读数头组成，采用增量式光电编码器，所述接收器由两组光电发射和接收管构成。

3.如权利要求2所述的高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，其特征在于：所述x向气浮套与x向气浮套连接板固定连接，所述x向气浮套连接板与y向安装板固定连接，所述y向气浮轴安装在所述y向安装板上，所述y向气浮套与y向气浮套连接板固定连接，所述y向气浮套连接板与z向固定挡板连接，所述z向气浮套通过z向气浮套固定板安装在所述z向固定挡板上，所述z向固定挡板上安装z向气浮轴连接板，所述z向气浮轴安装在所述z向气浮轴连接板上，所述z向气浮轴的上端安装与细绳连接的连接头；

所述一级z向光电转换发射器安装在z向固定挡板上，一级z向光电转换接收器和二级z向光电转换发射器均安装y向安装板上，二级z向光电转换接收器安装在固定板上；

y向光电转换发射器安装在y向安装板上，y向接收器安装在固定板上；

x向光电位移传感装置安装在固定板上。

4.如权利要求1～3之一所述的高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，其特征在于：各个气浮单元均包括两根气浮轴和两个气浮套，所述两根气浮轴平行设置。