[实用新型]一种气囊式真空贴合机

权利要求书

1.一种变形贴合面的真空贴合机，具有机柜，所述机柜上且位于上支架内部设置有工作平台，工作平台的前端中间处安装操控面板，其特征在于，在工作平台上还安装有能进行X、Y、Θ三轴及通过手动调节Z轴形成四轴调节移动的基板承载机构、在所述基板承载机构两侧有分别能向基板承载机构翻转贴覆上基板承载机构的预贴合机构和可柔性变形贴合面的贴合机构，在基板承载机构上方有定位捕捉的CCD机构。

2.根据权利要求1所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述基板承载机构包括处于最上方的基板平台气舱室、在基板平台气舱室内的基板真空吸附平台和在基板平台气舱室下的通过步进电机驱动的X、Y、Z、Θ四轴方向调节移动机构；所述基板平台气舱室为上端面未封闭的箱体，在其上端面有矩形密封槽，槽内粘接密封圈。

3.根据权利要求2所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述四轴方向调节移动机构包括从上到下依次层叠布置的Θ平台、X平台、Y平台和Z向平台。

4.根据权利要求3所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，在所述Θ平台中心位置安装旋转中心轴，旋转中心轴另一端装有旋转轴承，旋转轴承安装于X平台，在其四角附近位置装有钢珠滚轮，所述的Θ平台由步进电机驱动，联轴器、滚珠丝杆传递动力。

5.根据权利要求3所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述X、Y平台共用一个移动平台、步进电机、联轴器、滚珠丝杆，在移动平台上有X方向和Y方向的线性滑轨。

6.根据权利要求3所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述Z平台包括升降底板和升降下平台，在升降底板和升降下平台之间具有动力机构和从动机构，所述的动力机构由人工调节滚珠丝杆，线性滑轨导向，所述的线性滑轨安装于升降下平台，滑块连接于移动机构，此移动机构同时连接所述的滚珠丝杆螺帽，所述的移动机构还包含两组转动轴，所述的转动轴两端安装转动钢轮，所述的转动钢轮与从动机构的升降斜板的斜边接触，所述的升降斜板安装于所述的升降底板，所述的升降底板还安装有四根导柱，另有与四根导柱配合四件导套安装在升降下平台。

7.根据权利要求1所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述的预贴合机构包含预贴合箱体、置于预贴合箱体内的预贴合真空吸附平台和预贴合机构翻转机构，在预贴合机构旁靠近基板承载机构方向设置有能翻转预贴合机构让其与基板平台气舱室压合形成机械密封的预贴合机构翻转机构。

8.根据权利要求7所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述预贴合机构翻转机构包括翻转与贴合机构的翻转轴，驱动翻转轴转动的从动齿轮、主动齿轮和驱动主动齿轮转动的齿轮减速电机。

9.根据权利要求7或8中所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述预贴合机构还包括一个垂直安装在预贴合箱体的水平封闭面外的贴合气缸。

10.根据权利要求1所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述可柔性变形贴合面的贴合机构是气囊贴合机构，所述气囊贴合机构包括气囊贴合机构包含上端面未封合的气囊贴合箱体和蒙在气囊贴合箱体上的硅胶气囊膜，在靠近基板承载机构方位有一个可以180°翻转气囊贴合机构让气囊贴合机构与基板平台气舱室形成对准密封的翻转轴机构。

11.根据权利要求10所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，所述翻转机构包括翻转轴、驱动翻转轴的从动轮、主动轮和驱动主动轮的减速电机。

12.根据权利要求10或11所述变形贴合面的真空贴合机，其特征在于，在所述气囊贴合机机构翻转机构对侧设有两组对气囊贴合箱体来回翻转起到缓冲保护作用的油压缓冲限位机构。