[实用新型]空间移相菲索球面干涉仪

权利要求书

1.一种空间移相菲索球面干涉仪，包括准直光源(1)、圆起偏器(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、第一分束器(5)、第一准直透镜(6)、第一图像传感器(9)、第二准直透镜(10)、达曼光栅(11)、检偏器阵列(12)、第二图像传感器(13)和计算机(14)，其特征是在所述的第一准直透镜(6)和待测球面(15)之间设有双折射薄膜型球面标准镜(7)，其位置关系是：沿所述的准直光源(1)发出的光束前进方向，依次是所述的圆起偏器(2)、聚焦透镜(3)、光阑(4)、第一分束器(5)、第一准直透镜(6)、双折射薄膜型球面标准镜(7)而达到所述的待测球面(15)上，经该待测球面(15)反射后在所述的第一分束器(5)的反射光路上，依次是第二分束器(8)、第二准直透镜(10)、达曼光栅(11)、检偏器阵列(12)、第二图像传感器(11)和计算机(14)，在所述的第二分束器(8)的反射光方向设有第一图像传感器(9)，所述的光阑(4)位于所述的聚焦透镜(3)的后焦点和所述的第一准直透镜(6)的前焦点，待测球面(15)位于所述的准直光束经过所述的双折射薄膜型球面标准镜(7)的出射方向上。

2.根据权利要求1所述的空间移相菲索球面干涉仪，其特征是所述的双折射薄膜型球面标准镜(7)由双折射薄膜和球面标准镜组成，球面标准镜的入射面为平面，出射面为球面，所述的双折射薄膜镀在球面标准镜的入射面上，其相位延迟量为90°。

3.根据权利要求1所述的空间移相菲索球面干涉仪，其特征是所述的达曼光栅(11)是二维消零级达曼光栅，它利用衍射效应将一束入射光形成四个光强相等的子光束。

4.根据权利要求1所述的空间移相菲索球面干涉仪，其特征是所述的检偏器阵列(12)由四个检偏器在同一个平面内组合形成，四个检偏器的透光轴方向分别为0°、45°、90°和135°。