[实用新型]可调式卡匣固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种卡匣固定装置，尤指一种可调式的卡匣固定装置。

背景技术

目前一般的晶圆制造厂内，皆使用卡匣(cassette，盒)来暂时存放晶圆，使晶圆得以存放于该卡匣内，然后成批地由一个制程区移至下一个制程区，达到方便输送的需求，当欲对该晶圆进行相关的制程作业时，如测试、分类等，再依靠一机械手臂对该卡匣内的该晶圆进行取放的动作，而为了使该机械手臂能顺利地完成取放的动作，该卡匣通常会固定于一卡匣固定装置上，以避免卡匣的晃动影响晶圆的取放作业。

已知的卡匣固定装置如日本专利公开特许第1992024936所示，其为了固定卡匣避免晃动，在卡匣底面向下延伸凸出多个定位柱，而于放置该卡匣的平台上预设了符合多个该定位柱容置的多个沟槽，使该卡匣得以通过该定位柱卡入该沟槽的形式，而达到定位的效果，同样的，在日本专利公开特许第1999163081号中，为了固定卡匣，在卡匣底面向下延伸凸出设有H型定位条，而于放置该卡匣的平台上预设了符合该H型定位条容置的多个沟槽，并以该H型定位条卡入该多个沟槽的形式，达到定位效果

然而，上述的固定结构，于该卡匣放入该平台上时，由于该定位柱或H型定位条，必需向下卡入对应的该沟槽中，因此卡匣势必向下位移，震动到置于卡匣内的晶圆，产生了晶圆因此受损的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于解决已知的卡匣固定装置，于卡匣向下卡入该卡匣固定装置时，位于卡匣内的晶圆会受到震动的影响而产生受损的情形。

本实用新型的另一目的，在于提供一种只需简易调整，即可承载多种规格、尺寸的卡匣的卡匣固定装置。

为达上述目的，本实用新型提供一种可调式卡匣固定装置，包含有一卡匣平台、一第一定位组以及一第二定位组。该卡匣平台包括一容置面及设于该容置面的一第一左沟槽与一第一右沟槽及一第二左沟槽与一第二右沟槽，该第一左沟槽与该第一右沟槽分别与该第二左沟槽及该第二右沟槽相距一纵向间距。

该第一定位组包括一第一左活动柱以及一第一右活动柱，该第一左活动柱及该第一右活动柱分别设于该第一左沟槽及该第一右沟槽，且该第一左活动柱与该第一右活动柱相距一第一横向间距；该第二定位组包括一第二左活柱以及一第二右活动柱，该第二左活动柱与该第二右活动柱分别设于该第二左沟槽与该第二右沟槽，且该第二左活动柱与该第二右活动柱相距一第二横向间距。

其中，该第二横向间距大于该第一横向间距，且该第一定位组及该第二定位组具有一第一定位状态及一第二定位状态，该第一定位状态使该第一左活动柱与该第一右活动柱高于该容置面且该第二左活动柱及该第二右活动柱低于该容置面，而该第二定位状态使该第二左活动柱与该第二右活动柱高于该容置面且该第一左活动柱及该第一右活动柱低于该容置面。

进一步地，第一左沟槽与第一右沟槽相互连通。

进一步地，第二左沟槽与第二右沟槽相互连通。

进一步地，可调式卡匣固定装置还包括一设于卡匣平台的一前缘的前定位单元以及一设于卡匣平台的一后缘的后定位单元。

进一步地，第一定位组包括分别使第一左活动柱及第一右活动柱相对容置面垂直位移的一第一左升降单元及一第一右升降单元。

进一步地，第一左升降单元包括一基座、一设于基座上并具有一容纳第一左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于活动空间内而承载第一左活动柱的弹性元件。

进一步地，第一左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载基座及卡匣检测器的检测器固定件，检测器固定件具有一第一承载面以及一与第一承载面相邻的第二承载面，基座承载于第一承载面上，卡匣检测器承载于第二承载面上。

进一步地，第一左升降单元还包括一活动穿设于一开设于套筒部的环壁的穿孔中的挡止栓，且第一左活动柱凹设有一与挡止栓相对应的挡止槽，挡止栓具有一位于挡止槽内使第一左活动柱压缩弹性元件而低于容置面的限制位置，以及一位于挡止槽外使第一左活动柱受弹性元件推升而高于容置面的释放位置。

进一步地，第二定位组包括分别使第二左活动柱及第二右活动柱相对容置面垂直位移的一第二左升降单元及一第二右升降单元。

进一步地，第二左升降单元包括一基座、一设于基座上并具有一容纳第二左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于活动空间内而承载第二左活动柱的弹性元件。

进一步地，第二左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载基座及卡匣检测器的检测器固定件，检测器固定件具有一第一承载面以及一与第一承载面相邻的第二承载面，基座承载于第一承载面上，卡匣检测器承载于第二承载面上。