[实用新型]混合式布气管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种布气管，尤其涉及一种控制磁控溅射进气的混合式布气管。

背景技术

磁控溅射是在磁控靶(阴极)上接工作电源的负极，真空腔体接地，即在磁控靶和腔体间形成电场，溅射镀膜是将被镀基片置于磁控靶下方，当工作气体进入到靶和基片之间时，在真空状态下，工作气被电离，形成等离子体辉光放电，带正电的气体离子在电场作用下轰击固定于阴极上的靶材，并将靶材微粒刻蚀下来，沉积到被镀基片表面形成膜层。

上述溅射镀膜过程中，工作气沿靶长度方向上的布气均匀性对镀膜表面的膜厚均匀性、电参数均匀性(方阻导)起到至关重要的作用。传统的布气管采用单一进气管的方式，此种方式流导存在差异，进而造成布气不均匀，影响镀膜的均匀性；为了使布气均匀，市场上采用多级二元布气管来满足对镀膜均匀性要求很高的镀膜生产，但是多级二元布气管加工制造难度大，制造误差会直接影响多级二元布气管的布气均匀性，且结构复杂，占用空间大，在大面积镀膜设备上无法采用该形式。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种混合式布气管，以解决现有布气管布气不均匀，结构复杂，占用空间，大无法在大面积镀膜设备上使用的问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

一种混合式布气管，包括进气管和输气管，所述进气管与所述输气管的进气口相连接，所述输气管分布有多层，其出气口连接有减压管，所述减压管上均布有出气孔。

特别的，所述输气管为一级二元管。

本实用新型的有益效果为，上述混合式布气管通过增设减压管，气体通过在减压管内体积膨胀的减压作用，从而获得流经各小孔气体的等流速，达到布气均匀的效果，且减少了二元管得层数，降低了制造难度，减少了空间占用，结构简单，易于实现。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为本实用新型混合式布气管的结构示意图。

图中：

1、进气管；2、输气管；3、减压管；4、磁控靶。

具体实施方式

请参照图1所示，图1为本实用新型混合式布气管的结构示意图。

于本实施例中，一种混合式布气管，包括进气管1和输气管2，所述进气管1与所述输气管2的进气口相连接，所述输气管2分布有两层，为一级二元管，其出气口连接有减压管3，所述减压管3上均布有出气孔。

工作时，工作气由进气管1引入，经输气管2分流后，进入减压管3，到达减压管3的气体，通过在减压管3内体积膨胀的减压作用，从而获得流经各小孔气体的等流速，最后工作气从出气孔中流出，均布于磁控靶4上。

上述优选实施例适用于靶有效长小于或等于2m的磁控溅射镀膜，当靶长为3.5m时(最大镀膜尺寸)，可以增加一级二元管，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。