[实用新型]真空机械手晶圆托盘

权利要求书

1.一种真空机械手晶圆托盘，包括盘主体（1），其特征在于：盘主体（1）的一端设有安装定位孔（2），盘主体（1）的中部设有矫正工艺孔（3），盘主体（1）两端的端角处分别设有支撑突起（4），盘主体（1）的两端制有斜坡（5）。

2.如权利要求1所述的真空机械手晶圆托盘，其特征在于：所述的斜坡（5）与盘主体（1）水平面的夹角为50～70°。

3.如权利要求1或2所述的真空机械手晶圆托盘，其特征在于：所述的斜坡（5）的坡面形状为平面型。

4.如权利要求1或2所述的真空机械手晶圆托盘，其特征在于：设有安装连接件（6）和安装压板（7），螺栓通过安装定位孔（2）将盘主体（1）、安装连接件（6）和安装压板（7）连接在一起。

5.如权利要求3所述的真空机械手晶圆托盘，其特征在于：设有安装连接件（6）和安装压板（7），螺栓通过安装定位孔（2）将盘主体（1）、安装连接件（6）和安装压板（7）连接在一起。