[实用新型]一种搅拌装置有效
申请号: | 201120446760.7 | 申请日: | 2011-11-11 |
公开(公告)号: | CN202315752U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 陈淳;谢建伟;刘翠 | 申请(专利权)人: | 重庆大全新能源有限公司 |
主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18;B01F7/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 404000 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 搅拌 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片切割技术领域,更具体地说,涉及一种搅拌装置。
背景技术
单晶硅是半导体器件的核心材料,在生产半导体用硅片的流程中,需要将圆柱状的硅单晶棒加工为硅片。现有的切片工艺主要有内圆切割和线切割两种。其中线切割技术有效率更高,硅棒切口损耗更小和切割硅片的表面损伤层浅的优点,加之硅晶片大片径化的发展,线切割技术更具优势,因而线切割技术被认为是硅片切割领域中的主流技术。线切割技术的机理是机器导轮在高速转动中带动钢线,从而由钢线将聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂浆送到切割区,在钢线的高速运转中与压在线网上的工件连续发生摩擦完成切割过程。可以看出,在线切割工艺中,砂浆的质量影响切割后硅片的质量,而砂浆的制备影响切割过程的效率。
目前个工厂制备砂浆的方法为:在砂浆搅拌缸中导入聚乙二醇和碳化硅砂,在利用搅拌机在固定转速(约35r/min)下搅拌,约12h后测量砂浆的密度和粘度,如果不合格,则继续搅拌2h再测试,直到合格为止,制备一缸砂浆一般需要12h左右。
碳化硅砂为微米级颗粒,在空气中容易吸水成团,不容易分散,并且聚乙二醇的粘度较大。现有的制备过程采用简单的固定转速的浆式搅拌,导致砂浆的制备时间太长。以一个250MW的硅片工厂为例,至少要有20台以上的搅拌缸才能满足对砂浆使用量的需求。其次,砂浆制备装置将占用大量的厂房用地,从经济上加重了企业的负担。
如何提供一种以较短时间制备合格砂浆的搅拌装置,成为本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供一种搅拌装置,以实现快速制备合格砂浆的目的。
一种搅拌装置,包括搅拌缸、刮边桨叶、分散盘、搅拌轴、刮边搅拌电机和分散搅拌电机,其中搅拌缸顶部开有搅拌轴通孔,
刮边桨叶设置在搅拌缸中,刮边桨叶顶部穿过搅拌轴通孔与刮边搅拌电机相连,
分散盘与搅拌轴相连,搅拌轴穿过搅拌轴通孔与分散搅拌电机相连,
分散盘为双层分散盘,分散搅拌电机为变频高速搅拌电机。
优选的,双层分散盘包括上盘与下盘,上盘叶片一部分朝上弯折,一部分向下弯折;下盘叶片朝向水平。
优选的,上盘叶片每两个向上弯折叶片的中间为一个向下弯折的叶片。
优选的,刮边桨叶为钢架框式结构且外边缘为聚四氟乙烯材质的刮边桨叶。
优选的,双层分散盘为材质为0Cr18Ni9的双层分散盘。
优选的,变频高速搅拌电机为转速范围在0-960r/min的6级变频高速搅拌电机。
优选的,搅拌缸为0Cr18Ni9钢材质的搅拌缸。
在使用本实用新型提供的搅拌装置时遵循以下步骤:
1)将聚乙二醇加入到搅拌缸中,之后开启刮边搅拌电机,刮边搅拌电机转速设定在35r/min;
2)将碳化硅加入到搅拌缸中,之后开启变频高速搅拌电机,设定变频高速搅拌电机的转速为400-800r/min;
3)搅拌2小时后,取样测试,如果样品合格,将搅拌缸内砂浆打入储存缸;如果样品不合格,则继续搅拌0.5小时后再取样,直至合格后打入储存缸中。
从上述的技术方案可以看出,本实用新型提供了一种搅拌装置。该搅拌装置包括开有搅拌轴通孔、加沙口、加液口的搅拌缸,通过刮边搅拌电机驱动的刮边桨叶和通过变频高速搅拌电机驱动的双层分散盘,并且刮边桨叶与双层分散盘具有重合的转动轴心。该装置为同心双轴双搅拌设计,中心为由变频高速搅拌电机驱动的双层分散盘,实现了砂浆高速分散;边缘为由刮边搅拌电机驱动的固定转速的刮边桨叶,防止砂浆在边壁沉降。与现有的采用了普通分散盘和固定转速的单轴搅拌装置相比,本实用新型采用了双层分散盘、变频高速搅拌电机和双轴双搅拌设计。分散盘分散能力的大小与其作用到物料上剪切力的大小有直接关系,本实用新型所采用的双层分散盘,上盘叶片一部分朝上,一部分朝下,下盘叶片朝向水平,这种分散盘结构在作用时,与物料的剪切力相对于普通分散盘更大,有利于分散固液混合物料。制备同样的的砂浆,采用现有的搅拌装置需要12h以上,而采用了本实用新型所提供的搅拌装置和使用方法,则只需要3h左右,搅拌时间大大缩短。其次,由于搅拌时间的缩短,制备同样的砂浆所需的搅拌装置更少,节约了厂房用地,减轻了企业的经济负担。
附图说明
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