[实用新型]一种罗茨真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨真空泵。 

背景技术

罗茨真空泵由罗茨鼓风机演变而来，包括高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵，广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空泵。国内罗茨真空泵的研究和制造较早，但适合于IC装备行业严格要求的罗茨干泵并不多见，致使该设备长期依赖进口。 

气冷式罗茨干泵满足了IC装备行业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，是很有发展前景的一种干式低真空泵。目前，除加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入大等制约因素外，设计理论亟待提高，尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析等。 

实用新型内容

为了克服现有罗茨泵技术中极限真空低、消耗功率大、体积大、不能用于IC装备的不足，本实用新型的目的在于提供一种罗茨真空泵，适用于IC装备的新型的罗茨干泵。 

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案： 

一种罗茨真空泵，包括电机、前后轴承腔体、罗茨腔体及齿轮腔体，其中前后轴承腔体位于罗茨腔体的两侧，所述齿轮腔体与后轴承腔体连接；所述罗茨腔体上设有进排气孔、并且其内设有主动转子轴和从动转子轴，该主动转子轴和从动转子轴上分别设有相对应的罗茨主动转子和罗茨从动转子；所述主动转子轴一端穿出罗茨腔体和前轴承腔体与电机连接，另一端穿出罗茨腔体和后轴承腔体置于齿轮腔体内、并设有主动齿轮；所述从动转子轴一端穿出罗茨腔体和前轴承腔体、并通过轴端固定螺母固定，另一端穿出罗茨腔体和后轴承腔体置于齿轮腔体中、并设有与主动齿轮传动连接的从动齿轮；所述前轴承腔体及后轴承腔体内，均设有套固在主动转子轴和从动转子轴两端的轴承及轴承支撑环。 

本实用新型还包括固定装置、润滑装置及设置在所述前轴承腔体与电机之间的电机油箱，其中电机油箱内设有固定主动转子轴与电机的、套固在主动转子轴上的主动轴套；所述固定装置为设于电机油箱与齿轮腔体内固定主、从动转子轴两端轴承的电机侧轴承压盖和齿轮侧轴承压盖；所述润滑装置为设置在电机油箱内套固在所述主动轴套上的主动甩油盘、套固在从动转子轴上的电机侧从动甩油盘及设置在齿轮腔体内固套在从动转子轴上的齿轮侧从动甩油盘。 

所述前后轴承腔体与罗茨腔体间均设置轴封装置；所述轴封装置设置在主动转子轴和从动转子轴上。 

所述前轴承腔体及后轴承腔体的上部均设有油气分离装置，该油气分离装置包括联通器、O型氟胶圈、油分滤芯。 

所述轴封装置在主、从动转子轴内设置轴向通孔，所述轴向通孔的油腔端设置过滤装置，所述主、从动转子轴的前后轴承腔段设置径向通孔与所述轴向通孔连通，所述径向通孔外设置双唇轴封，所述双唇轴封开有通气孔，所述通气孔与设置在腔壁内的气孔连通，所述气孔与油气分离装置连接。 

所述过滤装置设置在轴端的固定螺母1内，为设置在固定螺母1内的挡片、过滤垫片。 

所述罗茨主、从动转子形状相同，由两段圆弧组成。 

所述罗茨主、从动转子与固定端即电机侧腔壁的间隙小于0.2mm，罗茨主、从动转子与罗茨腔体的间隙小于0.25mm，罗茨主、从动转子之间间隙小于0.3mm。 

所述电机包括外壳、电机定子、电机转子及输出轴，其中输出轴与所述主动转子轴同轴，电机转子套固在输出轴上，电机定子与泵体之间采用止口定位、并采用O型密封圈密封。 

所述罗茨腔体外部和前后轴承腔体外部设置了水冷装置，电机内部设置水冷管。 

本实用新型具有如下优点： 

本实用新型与以往罗茨泵相比具有体积小，抽速大，节约能源和空间，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，也可以和多级真空泵组成干泵机组；变频调速，柔性启动，整机冲击小，使用寿命长。且整机过载保护，具有故障自动保护，不会出现破坏性损坏；采用新型的特殊特氟龙类双唇轴封，增加了耐磨性，减少了摩擦系数，延长了泵的维修周期；并采用油气分离装置，将装油腔与泵腔通过气孔连通的空气过滤，使装油腔和干泵腔体压力平衡，达到平衡压力密封，解决向油蒸汽向真空室的泄漏问题；采用电机转子和泵轴一体，电机定子在油室外的结构，解决了电机动密封和电机震动问题；齿轮的装配采用热胀装配结构，减少了运动部的不平衡度和振动；在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。 

附图说明