[实用新型]蚀刻机台水汽分离器的改良结构有效
| 申请号： | 201120444636.7 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202355960U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李泽清 | 申请（专利权）人： | 竞陆电子（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 机台 水汽 分离器 改良 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述水汽分离器包括腔体(1)、可拆卸设置于所述腔体前端的前盖(2)，所述腔体内形成有容置室，在该容置室内设置有拉西环。
2.根据权利要求1所述的蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述腔体包括两对相对应设置的侧板以及与该两对侧板后端相连接的后板。
3.根据权利要求1所述的蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述前盖的中部开设有一长方形通孔，在所述通孔的外围边侧上固设有能够覆盖所述通孔的观察窗。
4.根据权利要求1所述的蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：还设有若干个螺丝，所述螺丝恰能够穿设所述前盖周边并旋置于所述腔体中。
5.根据权利要求1所述的蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述腔体和前盖的材质均为PVC板。
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