[实用新型]一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏领域，具体涉及单晶炉真空除尘过滤的一种装置。

背景技术

单晶生长时，对真空要求较高，每台单晶炉都配有独立的真空泵抽真空。在抽真空的同时，不断充入高纯的氩气，作为保护气，防止高温下硅与氧、碳等发生反应。但是，高纯氩气中还是含有微量的氧气，单晶炉体自身的密封效果不佳导致的空气泄漏，以及单晶生长所用的石英坩埚、石墨系统等都会成生或者释放二氧化硅、碳化硅等杂质。这些杂质随氩气被真空泵抽出，以保持单晶炉内真空。而这些杂质进入真空泵后，会大大降低真空泵的使用寿命，真空泵油也要频繁更换，成本高昂。目前使用的真空除尘过滤系统，为单层不锈钢滤网过滤，只能过滤颗粒较大的杂质，对于细小杂质无法过滤；而且过滤面积小，容易堵塞，增加了真空泵的负荷。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统，能够实现过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉内真空度，提高生产成品率。

本实用新型采用的技术方案是：一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统，包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口，所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖，过滤罐盖上设有安全充气阀，过滤罐体内设有铝合金内筒，所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口。

作为优选，所述铝合金内筒上设有提钩。

本实用新型循环系统改变了原有的单层不锈钢滤网为蜂窝状超细纤维纸过滤，能够实现过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉内真空度，提高生产成品率，降低生产的成本，为使用者谋求更多的利益。

本实用新型装置的进气口，接单晶炉的排气口，含有杂质的气体经过蜂窝状超细纤维纸过滤，由出气口排出进入真空泵，蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上，过滤罐盖可打开，便于将蜂窝状超细纤维纸取出清理，取出时，拎住铝合金内筒上的两个提钩，即可将之取出，需要打开过滤罐时，先通过安全充气阀往罐内充气，待到罐内气压与大气压力一致时，方可打开过滤罐盖，需要抽真空使用时，须拧紧安全充气阀。

有益效果：本实用新型采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质，能够过滤更细小的杂质，同时蜂窝状的结构，使其过气面积大大增加，提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉内真空度，具有十分重要的意义。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明：

如图1所示：一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统，包括安全充气阀1、过滤罐盖2、过滤罐体3、蜂窝状超细纤维纸4、铝合金内筒5、进气口6和出气口7，所述过滤罐体3上设有可开启式过滤罐盖2，过滤罐盖2上设有安全充气阀1，过滤罐体3内设有铝合金内筒5，所述蜂窝状超细纤维纸4固定在铝合金内筒5上，过滤罐体3的下面设有出气口7，过滤罐体3的侧面设有进气口6。所述铝合金内筒5上设有提钩8。