[实用新型]一种累积检测整体漏率装置有效

专利信息
申请号: 201120435994.1 申请日: 2011-11-07
公开(公告)号: CN202372317U 公开(公告)日: 2012-08-08
发明(设计)人: 张志;胡眉 申请(专利权)人: 安徽皖仪科技股份有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 230088 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 累积 检测 整体 装置
【说明书】:

技术领域:

    本实用新型主要涉及质谱分析领域,具体是一种累积检测整体漏率的装置。

背景技术:

真空检漏就是用一定的手段将示漏的物质加到被检工件器壁的某一侧,用仪器或某一方法在另一侧怀疑有漏的地方检测通过漏溢出的示漏物质,从而达到检漏的目的。目前真空系统所普遍采用的检漏方法,通常采用氦质谱检漏仪进行检漏,方法是将氦质谱检漏仪连接到真空系统抽空机组的前级泵的高真空端,用示漏物质氦气喷吹可能泄露的位置,通过氦质谱检漏仪的读数变化是否有漏。这种方式的不足之处在于结构复杂,成本高。

实用新型内容:

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷,提供提供结构简单、低成本的一种累积检测整体漏率的装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的:

累积检测整体漏率的装置,包括有氦质谱检漏仪、吸枪,所述氦质谱检漏仪与吸枪连接,其特征在于:还包括有箱体、工件,所述工件位于箱体内,所述箱体的一侧开有一个小孔,所述吸枪的吸枪头通过箱体上的小孔深入到箱体内,所述箱体上的小孔与吸枪之间密封。

所述的一种累积检测整体漏率装置,其特征在于:所述的箱体为密封件。

本实用新型的工作原理为:工件内充入氦气放置箱体内,一段时间后,如工件有漏,氦气就会从工件漏孔渗出被吸枪吸入,根据氦质谱检漏仪的度数判断出漏率值。

本实用新型的优点是:本实用新型结构简单,而且与现在的真空检漏系统相比至少减少了一套泵组大大节约了检漏的成本。

附图说明:

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式:

如图1所示,累积检测整体漏率的装置,包括有氦质谱检漏仪3、吸枪4,所述氦质谱检漏仪3与吸枪4连接,还包括有箱体2、工件1,所述工件1位于箱体2内,所述箱体2的一侧开有一个小孔,所述吸枪4的吸枪头通过箱体2上的小孔深入到箱体2内,所述箱体2上的小孔与吸枪4之间密封。所述的箱体2为密封件。

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