[实用新型]一种用于边环的整形工装结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于边环的整形工装结构。

背景技术

边环是半导体薄膜制程设备的关键核心零件之一，其工作环境处于无尘高真空条件下，边环上方放置晶圆片，主要功能为固定晶圆片于生产设备中的位置，防止晶圆片滑动。

如图1所示，边环1包括一圆环本体11，该圆环本体11的内侧壁设有一台阶12，圆环本体11的外侧边缘向上延伸形成突环13。

边环的工作环境是处在无尘真空条件下，特别之处在其工作环境属于高温环境，平均温度超过400℃；在此工作环境下边环会因多次的使用，逐渐产生微量的变形，当变形量达到一个程度时，边环对于晶圆片的固定效能会逐渐降低，晶圆片滑片、破片或镀膜不均匀的机率，会随变形量逐渐的增加。

当边环的变形量达到一定程度，即宣告报废，但是频繁的报废对于内部成本控管是一个挑战，因为边环新品都必须要从国外进口购买，采购时间冗长、价格相对高昂，且边环的使用量也大，采购成本是一个可观的数字。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种用于边环的整形工装结构，该工装结构操作简单且成本低廉，可有效的恢复边环的原有造型。

本实用新型的目的是这样实现的：

本实用新型的一种用于边环的整形工装结构，所述边环包括一圆环本体，该圆环本体的内侧壁设有一台阶，且其外侧边缘向上延伸形成突环，所述整形工装结构包括按所述边环形状成对设置的上压模和下压模，所述边环夹持在上压模和下压模之间。

上述的一种用于边环的整形工装结构，其中，所述上压模为环状结构，且其内壁向下延伸形成凸台，所述凸台嵌于所述边环突环的内侧。

上述的一种用于边环的整形工装结构，其中，所述下压模为环状结构，且其外壁向上延伸形成环形凸起，所述边环的下部嵌于所述环形凸起的内侧。

本实用新型整形工装结构投资设备成本低廉，保养维护容易且坚固且耐用，保养仅需要定期清洁外观，保持治具干净即可；采用本实用新型对边环整形操作十分便捷，是采用物理力冷压的方式进行整型，整形作业速度快且容易，质量容易控制；可有效的恢复边环原有造型，解决边环长期使用所产生的变型问题，达到延长边环使用寿命的目的，降低边环报废的频率，对新品采购成本上的节约有着实质的帮助。

附图说明

图1是边环的剖视图；

图2是本实用新型的剖视图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参阅图1，图中示出了边环的剖视图，边环1包括一圆环本体11，该圆环本体11的内侧壁设有一台阶12，圆环本体11的外侧边缘向上延伸形成突环13。

请参阅图2，图中示出了本实用新型用于边环的整形工装结构的剖视图，该整形工装结构包括按边环1形状成对设置的上压模2和下压模3，边环1夹持在上压模2和下压模3之间。上压模2为环状结构，且其内壁向下延伸形成凸台21，凸台21嵌于边环1突环13的内侧；下压模3为环状结构，且其外壁向上延伸形成环形凸起31，边环1的下部嵌于环形凸起31的内侧。

整形时，将边环1放置于下压模3的上方，且嵌设于下压模3环形凸起31的内侧，上压模2再盖在边环1上，且上压模2凸台21嵌设于边环1的突环13内侧，利用重压或敲击上、下压膜2、3，直至上、下压膜2、3吻合为止，对上压模2施加向下的外力，上压模2受到外力后进而挤压边环1，使得边环1吻合上、下压膜2、3的造型，从而达到整形的目的。

以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。