[实用新型]一种工件体粘接工装有效
申请号: | 201120425921.4 | 申请日: | 2011-11-01 |
公开(公告)号: | CN202278674U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 汪贵发;蒋建松 | 申请(专利权)人: | 浙江光益硅业科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 江助菊 |
地址: | 324200 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工件 体粘接 工装 | ||
技术领域
本实用新型涉及多线切割领域加工半导体硅片中工件体的粘接,尤其是一种工件体粘接工装。
背景技术
多线切片技术切割加工半导体硅片,工件(硅棒或硅锭)挂上机器切割前,都需要借助玻璃板或树脂板和粘胶板(连接板)与硅棒或硅锭三者连接成一体、形成工件体后,与固定工件体的晶座连接,然后,才能挂机并固定锁紧后,进行切割。目前,工件体连接的方法普遍采用的是粘接剂;粘接时为防止粘接剂溢流到硅锭表面,在切割时影响带砂造成断线,在粘接前对硅锭粘接面的两侧面都用胶带防护上。
现有技术工件体粘接所用的定位工装普遍是“L”型的,在使用中工件体粘接粘胶没有完全硬化前,需要将硅锭粘接面两侧面的防护胶带与渗溢出的胶一起撕掉,特别是在撕靠“L”型定位工装里侧面时,需要将工件粘接体转动180°,转动的过程中如果操作不当,容易造成硅锭移动,影响到粘接质量,在切割时产生掉片和掉棒问题。
发明内容
本实用新型为解决现有技术在使用中存在的防护胶带与渗溢出胶一起撕拉过程需要将工件粘接体转动1800,容易造成硅锭移动,影响粘接质量,在切割时产生掉片和掉棒的问题,提供一种弥补现有技术问题、方便操作的工件体粘接工装。
本实用新型解决现有问题的技术方案是:一种工件体粘接工装,包括粘接台,粘接台上设有匀胶压力杆,作为改进,所述的匀胶压力杆铰接于粘接台上可水平旋转,匀胶压力杆上设有连接销与下面可拆卸的压力连动板上所设的盲孔相配合;所述的粘接台四周敞开,粘接台上设有连接板定位槽,与连接板定位槽配合定位工件的定位机构,所述的定位机构包括分别设置于连接板定位槽前、后的前、后止挡架,连接板定位槽为一边开口的四边形,所述的前止挡架铰接于粘接台、位于连接板定位槽开口的一侧,前止挡架向回翻转,底部恰好封闭连接板定位槽四边形的开口。
作为进一步改进,所述的粘接台上设有一立柱,所述的匀胶压力杆可绕立轴轴线旋转的设置于立柱上。
作为进一步改进,所述的压力连动板上设有与匀胶压力杆上所设连接销配合的至少一个连接盲孔,所述的压力连动板侧面设有顶紧通向压力连接板工件的调节螺杆。
作为进一步改进,所述的定位机构的前、后止挡架可调节距离。
作为进一步改进,所述的前、后止挡架通过螺栓连接于粘接台上,前、后止挡架与粘接台之间设有可相对滑动调节的滑槽。
本实用新型与现有技术相比较,工件粘接台四周成敞开形结构,工件粘接体不需作前后的1800转动,便可实现对防护胶带与渗溢出的胶一起撕拉清除。其有益效果是方便对硅锭粘接面两侧面的防护胶带与渗溢出的胶一起撕拉清除,不会造成硅锭的移动,影响粘接质量,而导致在切割时产生掉片和掉棒问题,提高产品合格率,避免造成掉棒事故的发生和产品损失。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是压力连动板的示意图。
图3是图1的俯视图。
具体实施方式
参见图1-3,本实施案例包括粘接台1,粘接台1上设有匀胶压力杆2,匀胶压力杆2铰接于粘接台1所设的垂直立柱上、可绕立柱轴线水平旋转,匀胶压力杆2上设有连接销21与可拆卸的压力连动板3的盲孔31配合;粘接台1四周敞开,粘接台1上设有连接板定位槽4,与连接板定位槽4配合定位工件的定位机构,定位机构包括分别设置于连接板定位槽前、后并可调节距离的前、后止挡架5、6,连接板定位槽4为一边开口的四边形,前止挡架5铰接于粘接台1、位于连接板定位槽4开口的一侧,前止挡架5向回翻转,底部恰好封闭连接板定位槽4四边形的开口。
压力连动板3上设有与匀胶压力杆2上所设连接销21配合的至少一个连接盲孔31,压力连动板3侧面设有顶紧通向压力连接板3工件的调节螺杆连32。
后止挡架6通过螺栓连接于粘接台1上,后止挡架6与粘接台1之间设有可相对滑动调节的滑槽。
下面结合本实用型的应用进一步阐述本实用新型。
向前翻折前止挡架5,根据具体粘接工件尺寸规格的需要,通过螺栓调节前后止挡架5、6至合适位置,使工件与工件连接板保持对中;将粘接好的玻璃板与工件连接板,放置于连接板定位槽4内,在玻璃板上表面均匀涂上粘结剂,将待粘接的工件平放到玻璃板的粘接剂上,回转前止挡架5,将压力连动板3放置在工件上,调节螺杆32与工件顶紧,移动匀胶压力杆2使连接销21与压力连动板3的其中一个盲孔31配合,用力下压并做左右蠕动匀胶3~5次,调节工件与玻璃板一头对准后,移开匀胶压力杆2,松开调节螺杆32,并取下压力连动板3,再取来压胶配重块压放于工件上表面,待胶硬化无渗溢出时,将工件两侧面的防护胶带与渗溢出的胶一起撕拉清除干净,完成工件体的粘接。
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