[实用新型]一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置有效
| 申请号： | 201120425903.6 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202267577U | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 陈博刚 | 申请（专利权）人： | 上海科秉电子科技有限公司;科治新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 倪继祖 |
| 地址： | 201709 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反应 室盘漏 真空 测试 氦气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述氦气测漏装置包括一平板本体，该平板本体顶面的中心区域向下凹陷形成异形凹槽，所述异形凹槽底面上设有一通孔，且该通孔底部向下延伸形成一接口，所述平板本体顶面上且围绕于所述异形凹槽的外周处设有内嵌密封圈的沟槽。
2.如权利要求1所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述异形凹槽的横截面为锁孔形。
3.如权利要求1或2所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述平板本体的顶面和异形凹槽的底面均为镜面处理表面。
4.如权利要求1或2所述的一种用于反应室盘漏真空测试的氦气测漏装置，其特征在于，所述氦气测漏装置由不锈钢制成。
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