[实用新型]一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜

权利要求书

1.一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于包括L型基座（1）、第一转接板（2）、X轴手动平移台（3）、Y轴手动平移台（4）、X轴直流电动平移台（5）、Y轴直流电动平移台（6）、手动倾角台（7）、第二转接板（8）、样品台（9）、第三转接板（11）、Z轴手动平移台（12）、Z轴直流电动平移台（13）、压电陶瓷固定块（14）、压电陶瓷（15）、前置放大电路单元（16）、探针夹持机构（17）和探针（18）；L型基座（1）底板、第一转接板（2）、X轴手动平移台（3）、Y轴手动平移台（4）、X轴直流电动平移台（5）、Y轴直流电动平移台（6）、手动倾角台（7）、第二转接板（8）、样品台（9）顺次相连，L型基座（1）侧板上部设有第三转接板（11），第三转接板（11）上顺次设有Z轴手动平移台（12）、Z轴直流电动平移台（13）、压电陶瓷固定块（14），压电陶瓷固定块（14）垂直设有压电陶瓷（15），压电陶瓷（15）下端顺次设有前置放大电路单元（16）、探针夹持机构（17）和探针（18）。

2.根据权利要求1所述的一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于所述的第三转接板（11）的材料为尼龙，探针（18）的材料为99.999%纯钨。

3.根据权利要求1所述的一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于所述的样品台（9）中间设有沉孔，沉孔内装有圆形磁铁。

4.根据权利要求1所述的一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于所述的手动倾角台（7）为具有二维角运动自由度调节的手动倾角台。

5.根据权利要求1所述的一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于所述的X轴直流电动平移台（5）、Y轴直流电动平移台（6）、Z轴直流电动平移台（13）行程均为30 mm。

6.根据权利要求1所述的一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于所述的压电陶瓷（15）行程为150 μm。