[实用新型]快速锁紧式微波贯通法兰

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微波贯通法兰，具体地说是一种快速锁紧式微波贯通法兰，属于法兰制造技术领域。 

背景技术

我国对太阳能电池的研究开发工作一向高度重视，早在七五期间，非晶硅半导体的研究工作已经列入国家重大课题；八五和九五期间,我国把研究开发的重点放在大面积太阳能电池等方面。2003年10月，国家发改委、科技部制定出未来5年太阳能资源开发计划，发改委“光明工程”将筹资100亿元用于推进太阳能发电技术的应用，计划到2015年全国太阳能发电系统总装机容量达到300兆瓦。我国已成为全球光伏产品最大制造国，我国即将出台的《新能源振兴规划》，我国光伏发电的装机容量规划为2020年达到20GW，是原来《可再生能源中长期规划》中1.8GW的10多倍。 

目前国内太阳能硅生产企业主要有洛阳单晶硅厂、河北宁晋单晶硅基地和四川峨眉半导体材料厂等厂商，其中河北宁晋单晶硅基地是世界最大的太阳能单晶硅生产基地，占世界太阳能单晶硅市场份额的25%左右。 

随着光伏行业的日益成熟，许多电池片厂商对设备的维修与保养提出了越来越高的要求，在给电池片镀膜的PECVD工序，需要在工艺腔中通入反应气体然后在微波的激发下使反应气体电离来达到对硅片镀膜的目的，而PE石英管是ROTH&RAU设备上用于激发微波的关键零件，由于石英的易碎性，因此容易在工作中因收到机械、震动、热膨胀等因素而发生损坏，即使是使用完好的石英管因为在工艺腔中沉积厚厚的氮化硅而时常需要定期拆下来清洗维护；所以石英管更换的是否方便直接决定了设备保养所需要的时间，目前石英管是通过普通的螺纹卡头固定在微波贯通法兰上的，拆装繁琐、维护时间较长。 

本实用新型使用时只需要通过锁紧头上面的限位钉与开在微波贯通法兰上的条状螺旋槽便可实现石英管装配时的锁紧；拆卸时候，只需用扳手插入锁紧头上的孔中逆时针旋转便可轻易实现拆卸。 

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足之处，提供一种快速锁紧式微波贯通法兰，使石英管在安装过时，只需要通过锁紧头上面的限位钉与开在微波贯通法兰上的条状螺旋槽便可实现石英管装配时的锁紧；拆卸时候，只需用扳手插入锁紧头上的孔中逆时针旋转便可轻易实现拆卸。 

按照本实用新型提供的技术方案，所述快速锁紧式微波贯通法兰，包括微波贯通法兰，其特征是：还包括锁紧头，锁紧头安装于微波贯通法兰的外套筒上；锁紧头上设置有限位钉。 

所述微波贯通法兰的外套筒上开有两个螺旋槽，两螺旋槽在外套筒上以180度的角度阵列分布；两螺旋槽的形状、尺寸完全相同，均以微波贯通法兰的内套筒的轴线为中心呈螺旋下降状态，且螺旋槽在起点处开一个平行于内套筒的轴线的直槽，该直槽贯通外套筒的壁厚且贯通外套筒的上端面；所述直槽的宽度大于限位钉的直径。 

所述锁紧头上设置有两组限位钉，微波贯通法兰上设置有和限位钉对应的螺纹孔；所述两组螺纹孔均以锁紧头的轴线为旋转轴以180度的角度阵列分布。 

本实用新型具有如下优点：本实用新型上设置有条形螺旋槽，在锁紧头上安装有限位钉，通过旋转锁紧头使限位钉达到条形螺旋槽的极限位置并通过螺旋槽的自锁能力而固定，操作方便，省时，结构简单，易于生产。 

附图说明

图1 本实用新型结构示意图。 

图2 本实用新型锁紧头结构示意图。 

图3 本实用新型微波贯通法兰结构示意图。 

具体实施方式

如图1-3所示，快速锁紧式微波贯通法兰，包括微波贯通法兰1，还包括锁紧头2，锁紧头2安装于微波贯通法兰1的外套筒13上；锁紧头2上设置有限位钉3。 

所述快速锁紧式微波贯通法兰，包括微波贯通法兰1，括锁紧头2，锁紧头2安装于微波贯通法兰1的外套筒13上；锁紧头2上设置有限位钉3。 

所述微波贯通法兰1的外套筒13上开有两个螺旋槽15，两螺旋槽15在外套筒13上以180度的角度阵列分布；两螺旋槽15的形状、尺寸完全相同，均以微波贯通法兰1的内套筒14的轴线为中心呈螺旋下降状态，且螺旋槽15在起点处开一个平行于内套筒14的轴线的直槽，该直槽贯通外套筒13的壁厚且贯通外套筒13的上端面；所述直槽的宽度大于限位钉3的直径。 

所述锁紧头2上设置有两组限位钉3，微波贯通法兰1上设置有和限位钉3对应的螺纹孔4；所述两组螺纹孔4均以锁紧头2的轴线为旋转轴以180度的角度阵列分布。 

安装时，作业人员先将锁紧头2插入微波贯通法兰1，、将限位钉3放入微波贯通法兰1的螺旋槽15起始位置的直槽中，然后顺时针旋转锁紧头2直到的限位钉3的圆柱头与微波贯通法兰1上的螺旋槽15的尾端圆弧面紧配，则作业人员再稍作用力，便可实现螺旋自锁达到固定的目的。拆卸是安装步骤的逆向操作。其中任一组孔的位置按锁紧头2插入微波贯通法兰1后，微波法兰1上的螺旋槽15在锁紧头2上的投影所覆盖区域的中线上选取。