[实用新型]一种多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，包括炉体（5）和固定在炉体底端的底盘（1），其特征在于,所述底盘上均匀分布安装有电极（8），所述炉体外侧连接有广角视镜（3），炉体顶部采用半球形封头（2）密封。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极的数量为48对，即96个，在底盘上沿5个同心圆均匀分布，由内向外每个圆上的电极数量依次为6个、12个、18个、24个、36个。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极的个数为60对，即120个，在底盘上沿5个同心圆均匀分布，由内向外每个圆上的电极个数依次为8个、16个、24个、32个、40个。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体为带有夹套的钟罩式双层炉体结构，由半球形封头和圆柱形筒体（6）连接构成，在半球形封头顶部设有夹套冷却水出口（4），在圆柱形筒体边侧上设有夹套冷却水进口（7）。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体外侧周围均匀连接有6-8个广角视镜。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘上均匀分布安装有物料进口（9），底盘中心安装有物料出口（10），底盘边侧安装有底盘冷却水进出口（11）。