[实用新型]一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，可以改善绒面的均匀性，减少黑线或发亮的情况出现，避免绒面过大或过小。改善PE长膜的均匀性，由制绒工序产生的PE色差片减少，可以大大减少PE工序的返工率。

背景技术

在多晶槽式酸制绒中，制绒时间较短，机械手从酸槽中提出并放在漂洗槽中所经历的时间较长，残留在硅片表面的氢氟酸和硝酸会进一步与硅反应，会造成硅片的再制绒效应。硅片有的部分腐蚀得厉害，而有的部分腐蚀地较轻，从而出现片子绒面大小不一。

与残留的HNO3反应式：Si+2HNO3＝SiO2+2HNO2；

与残留的HF反应：Si+4HF＝SiF4+2H2；

SiO2与HF反应：SiO2+6HF＝H2SiF6+2H2O

绒面过小的部分膜呈红色，绒面过大的部分膜发白或发黄。影响了PE成膜的均匀性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种可改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，在不影响制绒正常流片的情况下，消除多晶硅槽式酸制绒中出现的再制绒效应，控制绒面颗粒大小的均匀性，从而减少PE中的色差片。

本实用新型的技术方案为，一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，包括提取载片花篮的机械手，机械手两端设有机械臂勾，其特征是，两端机械臂勾之间设有带进水接口的高压水管，并在高压水管底部装有喷淋嘴。

下对本实用新型作进一步描述。

在片子从制绒槽出来时开始，喷淋嘴开始喷雾，清除片子表面残留的酸。为了避免水喷在制绒槽中影响制绒液的浓度，制完绒后，制绒槽槽盖关上。为了保证喷雾效果，高压纯水管进水接口所接水源的压力应在0.4MPa以上。当片子提至清水槽时，喷淋嘴停止喷雾。

所述高压水管内的水源为去离子水。

由以上可知，本装置通过自动喷雾可以有效清除酸的残留物，控制再制绒效应，避免绒面大小不一，改善PE成膜的均匀性。PE因制绒原因产生的红片和发白片的比例大大降低。

附图说明

图1为本实用新型所述装置的结构主视图；

图2为本实用新型所述装置的结构主视图；

图3为本实用新型所述装置的结构主视图。

具体实施方式

如图1-图3所示，一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，包括提取载片花篮5的机械手，机械手两端设有机械臂勾4，两端机械臂勾4之间设有带进水接口1的高压水管3，并在高压水管3底部装有喷淋嘴2。

所述高压水管3内的水源为去离子水，进水接口1所接水源的压力为0.4Mpa以上。

制绒投片是200片/批，共8个片盒分两排排在花篮上，喷嘴设计两排，每排4-5个喷嘴，保证8个片盒都能喷上水。