[实用新型]一种中压单晶炉的安全阀

说明书

所属技术领域

本实用新型涉及一种用以防止设备或管道因超压而发生损坏的阀门，尤其是能够用于正负压变化的中压单晶炉中。 

背景技术

中压单晶炉是用于生产无位错单晶的设备，在其工作过程中需要先将设备抽真空到几帕以下，然后通入惰性气体生长单晶，正常工作时为正压，当压力超过规定压力值时需要安全阀能够快速开启泄压，目前使用的安全阀大多采用锥面密封，密封效果较差，设备真空度较难达到要求。 

发明内容

为了克服现有安全阀密封效果的不足，本实用新型提供一种能适用于有正负压变化的安全阀，其密封效果良好。 

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：结构主要包括管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，O形圈，螺钉和出气口，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接。阀瓣与管道连接件间安装有O形橡胶圈。 

阀体与阀瓣间采用弹簧式结构，通过螺纹连接方便快速调节安全阀的泄压压力，安全阀开启压力调好后通过圆螺母进行锁紧，安全阀与被连接件间采用O形橡胶圈进行端面密封，使得设备安全阀与设备间良好密封，设备抽真空时能在较短时间达到3Pa以下。 

本实用新型的有益效果是，既实现了安全泄压又能保证中压单晶炉初始时 的真空度，密封效果好，而且结构简单，成本低。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 

附图1是安全阀实施例的剖视简图。 

图中1.管道连接件，2.阀瓣，3.阀体，4.锁紧螺母，5.螺杆，6.弹簧，7.O形圈，8.螺钉，9.出气口 

具体实施方式

参看附图，中压单晶炉安全阀结构主要由管道连接件(1)，阀瓣(2)，阀体(3)，锁紧螺母(4)，螺杆(5)，弹簧(6)，O形圈(7)，螺钉(8)，出气口(9)组成，管道连接件(1)和阀体(3)之间通过螺钉(8)连接起来，阀体(3)与螺杆(5)通过螺纹连接，调节好泄压压力后通过锁紧螺母(4)锁紧，以保证泄压值恒定，通过弹簧(6)实现阀瓣(2)的开启与闭合，O形圈(7)安装在阀体(3)与管道连接件(1)之间，形成良好的端面密封。 

泄压时，拧开锁紧螺母(4)，螺杆(5)被弹簧(6)弹开，同时阀瓣(2)开启，炉内气体从出气口(9)放出，实现泄压，泄压到一定要求值后重新拧紧锁紧螺母(4)，阀瓣(2)关闭，泄压过程结束。