[实用新型]高温炉加热棒有效
申请号: | 201120389916.2 | 申请日: | 2011-10-13 |
公开(公告)号: | CN202282875U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 刘世全;徐家庆 | 申请(专利权)人: | 刘世全 |
主分类号: | H05B3/40 | 分类号: | H05B3/40 |
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地址: | 518108 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高温 加热 | ||
技术领域
本发明涉及熔体籽晶法单晶生长设备,尤其涉及高温炉加热棒。
技术背景
目前市场上很多钨棒发热体高温电阻炉采用低电压大电流方式供电,其中加热钨棒均是在底部过渡处弯曲,形成U型。此种加热钨棒做成高温炉,轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布不合理,生成的晶体质量不高。因为其形状复杂,且极易损坏,难以修复。
发明内容
为了克服现有高温电阻炉的发热体技术的不足,本发明提供高温炉加热棒,其形状为“弯折U型”,将其做成高温炉,具有完全的轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:将难熔金属裁切成长度一致的金属棒,并将其加工成形状为“弯折U型”,即形成加热棒,并且加热棒两端设计成螺纹形状。
作为本发明的进一步改进,所述难熔金属可以是钨或者钼。
本发明产生的有益效果是,材料加工方便;大量用于高温炉;能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉,典型应用是蓝宝石晶体生长炉及单晶硅晶体生长炉。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明加热棒的平面图。
图2是本发明加热棒的侧视图。
图3是本发明加热棒弯折部分的示意图。
附图标记说明:1.加热棒。
具体实施方式
在图1、2、3中,高温炉加热棒,将难熔金属裁切成长度一致的金属棒,将裁切好的金属加工成形状为“弯折U型”,并且加热棒两端设计成螺纹形状。
在安装成高温炉时,先在加热棒两端分别以螺纹连接方式连接于两个金属棒的对应端,然后将两个金属棒另一端固定于两个极性不同的电极圈上,即形成高温炉加热体。
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