[实用新型]千级无尘室排气系统有效
| 申请号： | 201120383573.9 | 申请日： | 2011-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN202263680U | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 邓毅强;郑然 | 申请（专利权）人： | 长兴（广州）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/12 | 分类号： | B05B15/12;B05B15/04 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 510530 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 千级无尘室 排气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种千级无尘室排气系统，其特征在于：包括一端连接于千级无尘室排气口的排气管，该排气管的另一端接入烘箱的进气风机，所述排气管上设有单向阀和排气风机。
2.根据权利要求1所述的千级无尘室排气系统，其特征在于：所述排气风机连接有DDC控制器。
3.根据权利要求1所述的千级无尘室排气系统，其特征在于：所述进气风机与所述排气风机均为功率1.5KW的风机。
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