[实用新型]干涉仪剪切量在线检测系统

权利要求书

1.一种干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述干涉仪剪切量在线检测系统包括光源系统、扫描系统、傅氏系统以及信号采集与处理单元；所述扫描系统设置于光源系统的出射光路上；所述傅氏系统设置于经扫描系统后的出射光路上；所述信号采集与处理单元设置于傅氏系统的焦平面上。

2.根据权利要求1所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述干涉仪剪切量在线检测系统还包括设置于光源系统以及扫描系统之间的准直系统。

3.根据权利要求2所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述准直系统包括毛玻璃、准直系统主镜、准直系统次镜以及第一可变光阑；所述毛玻璃设置于光源系统的出射光路上；所述准直系统次镜设置于经毛玻璃透射后的透射光路上；所述准直系统主镜设置于经准直系统次镜反射后的反射光路上；所述第一可变光阑设置于经准直系统主镜反射后的反射光路上；所述准直系统主镜是离轴抛物面反射镜；所述准直系统次镜是平面反射镜。

4.根据权利要求3所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述扫描系统包括双面反射镜以及用于带动双面反射镜进行匀速旋转的伺服电机；所述双面反射镜设置于经准直系统后的出射光路上。

5.根据权利要求4所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述傅氏系统包括第二可变光阑、傅氏系统主镜以及可见/红外切换反射镜；所述第二可变光阑设置于准直系统以及扫描系统之间；所述傅氏系统主镜设置于经扫描系统后的出射光路上；所述可见/红外切换反射镜设置在傅氏系统主镜的出射光路上；所述傅氏系统主镜是离轴反射镜或抛物面反射镜；所述可见/红外切换反射镜是平面反射镜。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述干涉仪剪切量在线检测系统还包括控制单元以及显示单元；所述信号采集与处理单元通过控制单元接入显示单元。

7.根据权利要求6所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述信号采集与处理单元包括光电探测器以及与光电探测器电性相连的信号处理单元；所述光电探测器设置于傅氏系统的焦平面上。

8.根据权利要求7所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述光电探测器包括可见光电探测器以及红外光电探测器；所述可见光电探测器以及红外光电探测器分别置于傅氏系统的左右两个焦平面上。

9.根据权利要求8所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述光电探测器还包括设置于光电探测器上的消杂散光光阑。

10.根据权利要求1所述的干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述光源系统包括激光器以及设置于激光器出射光路上的激光发散镜；所述激光器是可见激光器或红外激光器。