[实用新型]一种太阳能电池片板式镀膜载板

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池片制作过程中电池片镀膜工序工具技术领域，具体涉及一种太阳能电池片板式镀膜载板。

背景技术

在太阳能电池片经过制绒、扩散、刻蚀、去PSG之后，这时需要在电池片扩散面上镀上一层氮化硅膜，这层氮化硅膜可以有效地降低电池片对太阳光的反射，提高电池片对太阳能能量的吸收。目前工业化生产太阳能电池片镀氮化硅膜时主要应用板式镀膜机器，分为上镀膜和下镀膜两种方法。本太阳能电池片板式镀膜载板适用于这两种板式镀膜方法。

板式镀膜载板是一种常见的电池片镀膜承载工具。板式镀膜载板设计的样式、材料都很很重要。目前行业电池片镀膜载板样式有上镀膜载板和下镀膜载板，这两种载板都会造成载板中间区域的电池片镀膜较厚，载板边缘区域电池片镀膜面的颜色差异较大，造成电池片镀膜面外观颜色不统一，降低了电池片的外观等级。

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种太阳能电池片板式镀膜载板，该载板承载电池片区域外边缘设有均匀对称分布的槽孔，能有效减少载板承载电池片边缘区域镀膜色差，提高电池片外观等级，有很高的实用价值。

本实用新型的一种太阳能电池片板式镀膜载板技术方案为，板式镀膜载板承载电池片区域外边缘设有均匀对称分布的槽孔。

所述槽孔直径：5-70mm。

该太阳能电池片板式镀膜载板采用石墨板制作。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的太阳能电池片板式镀膜载板承载电池片区域外边缘设有均匀对称分布的槽孔，槽孔用于疏散流通镀膜载板外边缘氮化硅等离子体气流，能有效减少载板承载电池片边缘区域镀膜色差，提高电池片外观等级，有很高的实用价值。

附图说明

图1所示为现有技术的镀膜载板结构示意图；

图2所示为本实用新型的太阳能电池片板式镀膜载板结构示意图。

图中，1-承载电池片区域，2-载板，3-槽孔。

具体实施方式

本实用新型的一种太阳能电池片板式镀膜载板2技术方案为，板式镀膜载板2承载电池片区域1外边缘设有均匀对称分布的槽孔3。

该太阳能电池片板式镀膜载板2长:1690mm，宽:1000mm，所述槽孔3直径：5-70mm。

该太阳能电池片板式镀膜载板2采用石墨板制作。

当板式镀膜载板2承载电池片从氮化硅等离子源下匀速通过时，氮化硅等离子体在电池片表面沉积成厚度均匀的氮化硅膜。

现有技术中载板承载电池片区域1外边缘较宽，载板承载电池片区域1外边缘氮化硅等离子体气流与载板中间区域不同，造成承载电池片区域1外边缘的电池片镀膜厚度不均匀。氮化硅膜不均匀便会产生外观不良，降低了电池片的外观等级，降低了电池片的使用价值。

本实用新型的太阳能电池片板式镀膜载板2槽孔3用于疏散流通镀膜载板外边缘氮化硅等离子体气流，能有效减少载板2承载电池片边缘区域1镀膜色差，提高电池片外观等级，有很高的实用价值。