[实用新型]数字微镜器件

权利要求书

1.一种数字微镜器件，其特征在于，包括：

基底，所述基底上形成有微镜器件控制电路结构；

位于所述基底上的数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括一个反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链；

所述两个第二极板位于所述基底上，与所述微镜器件控制电路结构电连接；

所述两个第一极板位于所述两个第二极板上方，且分别与所述两个第二极板相对；

所述铰链位于所述第二极板上方；

所述反光镜位于所述第一极板上方，且所述反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接，所述反光镜通过第二插栓与所述铰链电连接；在所述第一极板或第二极板之间具有电压差时，所述反光镜绕所述铰链偏转；

还包括：

两个卡口，所述铰链两端分别可活动设于所述两个卡口内，所述卡口固定且与所述微镜器件控制电路结构电连接，在所述铰链与所述卡口接触时，所述卡口与所述铰链电连接。

2.如权利要求1所述的数字微镜器件，其特征在于，还包括两个连接端，位于所述两个第二极板之间，所述第二极板通过第三插栓与所述微镜器件控制电路结构电连接，所述连接端通过第四插栓与所述微镜器件控制电路结构电连接；

所述卡口通过第五插栓与所述连接端电连接。

3.如权利要求2所述的数字微镜器件，其特征在于，所述卡口包括底板、顶板以及侧壁；所述底板与所述第五插栓电连接，所述顶板与所述底板相对，所述侧壁连接所述底板与所述顶板。

4.如权利要求1～3任一项所述的数字微镜器件，其特征在于，所述铰链包括导电层和介质层，所述导电层靠近所述第二极板，所述介质层远离所述第二极板。

5.如权利要求1～3任一项所述的数字微镜器件，其特征在于，所述第一极板包括导电层和介质层，所述导电层靠近所述第二极板，所述介质层远离所述第二极板，所述介质层相对于所述导电层具有压应力。

6.如权利要求1～3任一项所述的数字微镜器件，其特征在于，所述第一极板包括导电层和介质层，所述导电层远离所述第二极板，所述介质层靠近所述第二极板，所述介质层相对于所述导电层具有拉应力。