[实用新型]一种用于平板硅外延炉的冷却水分配板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种分配板，尤其是涉及一种平板硅外延炉腔体的分配板，属于冷却分配板技术领域。

背景技术

现有技术中的冷却水分配板，譬如，意大利LPE公司的PE3061D设备的工艺腔体底部的水冷却装置，冷却水主要集中在中心缝隙，不能很好的冷却工艺腔体底部温度较高处，导致腔体在使用一段时间之后，腔体镀金层被高温氧化，导致镀金层发黑、脱落，腔体镀金层寿命只有7-9个月时间，较全新的腔体，工艺功率损耗大到10kw。如图1所示。

发明内容

为了克服现有的水冷却装置不能很好对工艺腔体底部的冷却，本技术提供了一种新型的冷却水分配板，其所采用的技术方案是：水流通过以圆弧的形式分布在外延加热体底部的水流细孔流过，密布在板盘上的水流细孔的孔径直径大小为10mm左右，以中心圆孔为中心均匀分布在以150mm、220mm、300mm为半径的圆弧上。

本技术的有益效果是，通过控制腔体底部冷却水流分布，在腔体高温位置集中水流，通过喷射状流动的水流带走附着在腔体底部的气泡（此气泡在高温时产生，并阻隔腔体表面的热交换）该冷却水分配板能够有效控制腔体底部温度，从而有效防止腔体表面镀金层因高温而氧化剥落，此技术大幅延长了腔体使用寿命，同时降低了工艺功率损耗，节约了能耗。本实用新型有效延长腔体使用寿命，从原来的7-9个月延长到了16个月。相对旧型镀金层脱落后的腔体，功率消耗节约了10-20%。

附图说明

图1是现有技术中旧型冷却水分配盘俯视图。

图2是本实用新型的新型冷却水分配盘俯视图。

图3是本实用新型的实施例的纵剖面结构图。

图4是本实用新型的装配图。

图5是本实用新型的实施例的纵剖面构造图。

图6是本实用新型的实施例的横剖面构造图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细的说明。

图2是本实用新型的俯视图，水流通过直径大小为10mm水流孔，水流孔以中心圆孔为中心分布在以150mm、220mm、300mm为半径的圆弧上，通过均匀设置的水流孔，有效降低腔体表面的温度。 

图4中是本冷却水分配盘的装配示意图，安装与箭头所示位置。

在图3、图5、图6所示实施例中，本实用新型安装与反应腔体底部。通过本应用新型的水流分配设置，控制反应腔体位于加热体底部的温度，避免高温引起腔体表面镀金层氧化脱落。

虽然本发明通过实施例进行了描述，但实施例并非用来限定本发明。本领域技术人员可在本发明的精神的范围内，做出各种变形和改进，所附的权利要求应包括这些变形和改进。