[实用新型]红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪

权利要求书

1.一种红外光谱干涉仪，其特征在于，包括发出平行光线的光源(1)，在所述平行光线的前进方向上设置有分束镜(2)，在分束镜(2)的透射光路上依次设置有补偿镜(3)、可沿其光轴方向移动的动立体角镜(8)和固定的第一平面镜(6)，透射光透过所述补偿镜(3)经动立体角镜(8)反射到第一平面镜(6)上，所述第一平面镜(6)将入射光沿原路反射回动立体角镜(8)并进一步透过补偿镜(3)返回分束镜(2)，分束镜(2)将其反射至检测器(4)；在分束镜(2)的反射光路上依次设置有固定的定立体角镜(7)和固定的第二平面镜(5)，反射光束经定立体角镜(7)反射到第二平面镜(5)上，所述第二平面镜(5)将入射光线沿原路反射回分束镜(2)并透过分束镜(2)投射至检测器(4)；其中的分束镜(2)的镀有分束膜的面平行于所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成的夹角的角平分线，第二平面镜(5)垂直于定立体角镜(7)的光轴，第一平面镜(6)垂直于动立体角镜(8)的光轴，所述补偿镜(3)平行于所述分束镜(2)设置，且与所述分束镜(2)同材质、等厚度，所述光源(1)的平行光线经分束镜(2)后的透射光平行于动立体角镜(8)的光轴，所述光源(1)的平行光线经分束镜(2)的反射光线平行于定立体角镜(7)的光轴。

2.根据权利要求1所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述分束镜(2)的镀有分束膜的面位于第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成的夹角的角平分线上。

3.根据权利要求1所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成45°-135°夹角。

4.根据权利要求2所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成45°-135°夹角。

5.根据权利要求3所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成90°或60°的夹角。

6.根据权利要求4所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述第二平面镜(5)和第一平面镜(6)构成90°或60°的夹角。

7.根据权利要求3-6之一所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述第一平面镜(6)的一端和第二平面镜(5)的一端相接，所述第一平面镜(6)的远离第二平面镜(5)的另一端位于动立体角镜(8)的光轴上，所述第二平面镜(5)的远离第一平面镜(6)的另一端位于定立体角镜(7)的光轴上。

8.根据权利要求7所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，用镀有金属膜的直角棱镜(9)取代第二平面镜(5)和第一平面镜(6)，所述直角棱镜(9)的两个直角面分别相当于第一平面镜(6)和第二平面镜(5)。

9.根据权利要求8所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，还包括有光学单体结构(10)，所述光学单体结构(10)包括有壳体结构和固定在壳体结构内的所述直角棱镜(9)、所述分束镜(2)和所述补偿镜(3)。

10.根据权利要求9所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述光学单体结构(10)还包括立柱(11)和镜体支撑结构(12)，所述壳体结构包括上顶(13)和下底(14)，所述直角棱镜(9)通过上顶(13)和下底(14)固定在壳体结构的一端，所述立柱(11)通过上顶(13)和下底(14)固定在壳体结构的相对的另一端，所述分束镜(2)和补偿镜(3)固定在镜体支撑结构(12)上，所述镜体支撑结构(12)固定在壳体结构内并所述分束镜(2)的镀有分束膜的面平行于直角棱镜(9)的两个直角面的夹角的角平分线或所述分束镜(2)的镀有分束膜的面位于直角棱镜(9)的两个直角面的夹角的角平分线上。

11.根据权利要求10所述的红外光谱干涉仪，其特征在于，所述壳体结构、立柱(11)和镜体支撑结构(12)采用与所述分束镜(2)的热膨胀系数相近的光学材料，其中的热膨胀系数相近是指热膨胀系数的差值小于2.0×10^-6K^-1。