[实用新型]一种准单晶硅铸锭炉的内保温部件的提升装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种准单晶硅铸锭炉，特别是涉及一种准单晶硅铸锭炉内保温部件的提升装置，该装置安装在铸锭炉顶部，用于在准单晶硅结晶过程中的对保温部件的升降控制，以实现对硅液结晶速度的控制。

背景技术

准单晶硅铸锭炉属真空环境下的工作设备，在一定工作环境下炉中的硅液结晶生长出准单晶硅，而准单晶硅的生长工艺需要硅液有快速的温差变化使硅液结晶，在硅液的结晶过程中，要让装有融化硅液的坩埚离开加热区，使坩埚内的硅液散热形成温度差使硅液结晶。现有设备通过由电机、减速机、转向器、直线运动单元等众多元件所组成的机械提升装置来实现对保温部件的提升，从而达到形成温度差使硅液结晶，该机械提升装置存在结构复杂，难维修，难润滑、易磨损的缺陷。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单，易维修，易润滑、不易磨损的准单晶硅铸锭炉的内保温部件的提升装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的准单晶硅铸锭炉的内保温部件的提升装置，在炉体的顶盖上的固定设置有多个垂直油缸支撑架，每个所述的垂直油缸支撑架上均设置有垂直安装的油缸，所述的油缸的活塞杆与拉杆的一端连接，所述的拉杆的另一端与所述的炉体内的内保温部件连接。

多个所述的油缸与一套具有同步控制功能的液压系统连接。

采用上述技术方案的准单晶硅铸锭炉的内保温部件的提升装置，设置在炉体的顶盖上的多个垂直油缸支撑架，每个垂直油缸支撑架上均设置有垂直安装的油缸，油缸的活塞杆与拉杆的一端连接，拉杆的另一端与炉内的保温部件连接，通过油缸的活塞杆的运动来实现对炉内保温部件的提升。

与现有机械提升装置相比，本实用新型方案结构简单，易维修，易润滑、不易磨损。

附图说明

图1本发明的结构示意图

图中：1.炉体，2.拉杆，3.垂直油缸支撑架，4.活塞杆，5.油缸。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

参见图1，在炉体1的顶盖上的固定设置有多个垂直油缸支撑架3，每个垂直油缸支撑架3上均设置有垂直安装的油缸5，油缸5的活塞杆4与拉杆2的一端连接，拉杆2的另一端与炉体1内的内保温部件连接，多个油缸5与一套具有同步控制功能的液压系统连接。

参见图1，通过油缸5的活塞杆4的运动来实现对炉内保温部件的提升。

油缸5通过一套具有同步控制功能的液压系统进行驱动。