[实用新型]一种切割机钢线直径检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅切片技术领域，更具体地说，涉及一种切割机钢线直径检测系统。

背景技术

在半导体或光伏行业，最基本的生产原料是硅料，硅料在多晶炉内通过熔化、冷却进而生长成多晶硅，所述多晶硅再经直拉法可形成单晶硅。后续需要通过切割机(目前采用的多为多线切割机)对所述多晶硅或单晶硅进行切片，以形成薄的、可用来制备半导体器件或太阳能电池的硅片。

所述切割机包括放线端和收线端，所述放线端可放出钢线，所述放出的钢线经晶体硅(包括多晶硅和单晶硅)后将所述晶体硅切割成所需厚度的硅片，切割后的钢线经收线端被收回。

在采用切割机对晶体硅进行切片的过程中，常需要检测切割机放线端所放出钢线的直径和切割机收线端所收回钢线的直径，进而来判断该切割机所放出钢线的质量以及收回钢线的磨损情况。

现有技术中一般通过从切割机的放线端和收线端分别剪一段钢线，将所剪钢线在实验室采用激光测径仪进行钢线直径的测量，并以所测量的一小段钢线的直径来粗略判断与此段钢线相邻的放线端所放出钢线的直径或收线端所收回钢线的直径。但是，这种方法不能实时地对切割机放线端和收线端的钢线进行直径的检测。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种切割机钢线直径检测系统，该系统能够实时地检测切割机放线端和收线端钢线的直径。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种切割机钢线直径检测系统，该系统包括：

位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪；

位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。

优选的，上述系统中，所述第一激光测径仪包括：

利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面，从而测得钢线直径数据的第一数据检测装置；

收集所述第一数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第一数据处理装置。

优选的，上述系统中，所述第二激光测径仪包括：

利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面，从而测得钢线直径数据的第二数据检测装置；

收集所述第二数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第二数据处理装置。

优选的，上述系统中，所述第一激光测径仪还包括：

将由所述第一数据处理装置处理后的数据进行显示的第一数据显示装置。

优选的，上述系统中，所述第二激光测径仪还包括：

将由所述第二数据处理装置处理后的数据进行显示的第二数据显示装置。

优选的，上述系统还包括：

第三数据显示装置，所述第三数据显示装置用于将所述第一激光测径仪和第二激光测径仪所测钢线直径显示出来。

优选的，上述系统还包括：

与所述第一激光测径仪相连的第一报警装置，所述第一报警装置用于当所述第一激光测径仪所测钢线直径超出第一预设范围时发出报警。

优选的，上述系统还包括：

与所述第二激光测径仪相连的第二报警装置，所述第二报警装置用于当所述第二激光测径仪所测钢线直径超出第二预设范围时发出报警。

优选的，上述系统中，所述第一数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过360°旋转对焦钢线表面，进而测得钢线直径数据。

优选的，上述系统中，所述第二数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过360°旋转对焦钢线表面，进而测得钢线直径数据。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统包括：位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪；位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统，通过在切割机放线端和收线端分别设置第一激光测径仪和第二激光测径仪，从而可对切割机放线端所放出钢线的直径和切割机收线端所收回钢线的直径进行在线、实时地检测，通过实时检测切割机放线端所放出钢线的直径，可利于及时发现钢线断丝的可能性；通过实时检测切割机收线端所收回钢线的直径，可及时发现钢线磨损量变化的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。