[实用新型]一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置有效
| 申请号： | 201120350348.5 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN202265419U | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 肖建忠;武华;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 西宁工道知识产权代理事务所 63102 | 代理人： | 全宏毅 |
| 地址： | 810007 青海省西宁*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二氯二氢硅 氯化 混合 储存 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置，其特征在于管道（4）和管道（5）与混合器（6）相连，混合器（6）通过管道（7）和阀Ⅰ（15）与储罐（2）相连，氮气罐（3）通过管道（8）和阀Ⅱ（14）与储罐（2）相连，管道（9）通过压力自控阀（13）与储罐（2）相连，压力表（10）通过阀Ⅲ（12）和管道（11）与储罐（2）相连，管道（16）通过阀Ⅳ（1）与储罐（2）相连。
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