[实用新型]氯硅烷洗涤塔

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种氯硅烷洗涤塔，特别是一种带有洗涤与换热功能的氯硅烷洗涤塔，属于太阳能光伏产业技术领域。

背景技术：

多晶硅是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是信息产业和新能源产业的基础原料。在太阳能光伏产业的巨大利润下，各地多晶硅项目纷纷上马，多晶硅产业前景广阔，已经成为中国投资的热点。

现有技术中广泛采用西门子法制备多晶硅。西门子法是在还原炉内，SiHCl₃和H₂等工艺气体经进气管进入炉体内发生还原反应，生成Si并沉积在硅芯电极上。与此同时，生产1000吨多晶硅将生成约15000吨SiCl₄（即四氯化硅），不仅造成能源浪费，也为多晶硅企业生产带来巨大压力。现有新工艺将SiCl₄转化为SiHCl₃，重新参与生产，是当前多晶硅生产的趋势。在此转化过程中，经过一系列反应生成的高温SiHCl₃气体中含有粉尘颗粒，为了使得此高温SiHCl₃气体重新进入还原炉内生产多晶硅，必须对杂质粉尘进行洗涤并且进行降温。 

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种氯硅烷洗涤塔，该氯硅烷洗涤塔能有效对含有粉尘的高温氯硅烷气体进行充分洗涤，且对高温氯硅烷气体进行换热，有效降低氯硅烷气体的温度，使其能直接进入下一生产工序。

为实现上述目的，本实用新型采用的氯硅烷洗涤塔，自上而下包括上封头、换热段、洗涤段以及下封头，所述换热段与洗涤段通过法兰连接；所述下封头设有气体进口；所述上封头设有气体出口，所述换热段设有冷却介质出口和冷却介质入口。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述换热段包含一壳体，所述壳体内部设有若干个换热管，所述换热管固定于管板，所述冷却介质入口设于壳体下半部分，所述冷却介质出口设于壳体上半部分。高温氯硅烷气体经过换热管与换热管外的冷却介质进行热量交换，达到降温的目的。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述换热管的横截面的直径小于其长度。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述换热管的横截面为圆形，或者多边形，所述换热管均匀分布于所述壳体内。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述洗涤段的上方为气相空间，下方为液相空间，所述液相空间中充满洗涤液。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述液相空间设有洗涤液进口与洗涤液出口。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述下封头为锥形。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述下封头底部设有排渣口。 

作为本实用新型的一种优选方案，所述排渣口上设有重力阀。 

本实用新型的工作原理：上一工序生产的高温带粉尘的氯硅烷气体，经气体进口进入洗涤段的液相空间，液相空间充满一定浓度的洗涤液，带粉尘的氯硅烷气体在洗涤液中充分洗涤，将粉尘留在洗涤液中，粉尘经重力作用沉积在洗涤段的底部，经洗涤段的排渣口定期排渣；经洗涤后的氯硅烷气体进入气相空间；洗涤后的氯硅烷气体经洗涤段气相空间进入换热段的换热管；换热段的壳体内充满冷却介质；换热管内的高温氯硅烷气体与壳体内的冷却介质进行换热；经冷却后的氯硅烷气体从换热段顶部的出气口进入下一工序。 

本实用新型提供的氯硅烷洗涤塔能够对高温的氯硅烷气体进行洗涤与换热，有效去除氯硅烷气体中的粉尘颗粒等杂质，大大降低气体温度，使其能直接进入下一生产工序，为后续的生产工序进行预处理。 

附图说明：

图1是本实用新型的氯硅烷洗涤塔的结构示意图。

附图标记：1是排渣口，2是锥形封头，3是气体进口，4是洗涤段液相空间，5是洗涤段气相空间，6是法兰，7是管板，8是换热管，9是壳体，10是上封头，11是气体出口，12是冷却介质出口，13是冷却介质入口。 

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型作进一步描述，但是本实用新型不限于所述的实施例。

如图1所示，氯硅烷洗涤塔自下而上包括锥形封头2、洗涤段液相空间4、洗涤段气相空间5、法兰6、管板7、换热管8、壳体9、上封头10。换热管8固定于管板7上，壳体9与洗涤段通过法兰6连接为一体；锥形封头2底部设有排渣口1，其侧边设有气体进口3，壳体9设有冷却介质出口12和冷却介质入口13，上封头10的顶部设有气体出口11。 

本实施例的工作过程是：正常工作时，由上一工序过来的高温带粉尘的氯硅烷气体，由洗涤塔锥形封头2的气体进口3进入洗涤段的液相空间4；在特定浓度的洗涤液中，能将进入的氯硅烷气体中的粉尘杂质充分洗涤；粉尘杂质在洗涤液中由于重力原因沉积至洗涤塔锥形封头2底端，由排渣口1定期排渣；经洗涤的不带粉尘的氯硅烷气体进入洗涤段气相空间5；高温的氯硅烷气体由洗涤段进入换热段的换热管8内；换热管8内的高温氯硅烷气体与壳体9内的冷却介质充分换热，冷却至一定温度，进入上封头10，由上封头的气体出口11进入下一工序。