[实用新型]一种由双炉运行改成单炉运行的氢化炉有效
申请号: | 201120338402.4 | 申请日: | 2011-09-09 |
公开(公告)号: | CN202226674U | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 徐予晗 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 620041 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 运行 改成 氢化 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种氢化炉,特别是一种由双炉运行改成单炉运行的氢化炉。
背景技术
如图1所示,在西门子法生产多晶硅过程中,有不少单位采用了MSA的还原炉与氢化炉及其工艺包。由于设计的缺陷,MSA氢化炉每两台炉构成一个区,只能一个区同开同停。而在实际生产中,经常发生某一台炉发生故障需要停炉,而另一台炉正常运行,也只能跟着一起停下,以便故障炉进行检修。
由于氢化炉每天的处理量很大,四氯化硅(简称STC)转化成三氯氢硅,每天创造的经济效益多达13.5万。为了提高经济效益,减少损失,也为了尽量多的处理四氯化硅,减少环境污染,需要尽量延长氢化炉的运行时间,实现单炉开停炉,保证在单炉故障而停炉时,能够关掉故障的氢化炉,而无故障的氢化炉进行运行,增大处理量。
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种结构简单,控制灵活,且可实现单炉单独开炉、停炉,能保证在单炉故障而停炉时,能够关掉故障的氢化炉,而无故障的氢化炉进行运行,尽可能增大处理量,生产效率高的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉。
本实用新型采用的技术方案如下:
本实用新型的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉,包括第一氢化炉和第二氢化炉,所述第一氢化炉和第二氢化炉通过氢化炉出气管连接到STC汽化器底部,通过氢化炉进气管连接到STC汽化器的顶部,所述STC汽化器上连接有氢气管与氮气管的混合管以及四氯化硅进气管,所述STC汽化器上还连接有放空管、尾气管和三废管,两氢化炉出气管上通过排气管道连接于三废管上,且该排气管道以及氢化炉出气管上分别设置有手动球阀。
由于采用了上述结构,在两氢化炉的氢化炉出气管上,分别通过排气管道连接到三废管,且在排气管道以及氢化炉出气管上分别设置有手动球阀,两台炉的新增尾气管道在手动球阀之后并在一起,接至尾气去往三废处理的管道上,气动开关阀和气动开关阀前的手动球阀之间,依靠这根新增管道上的手动球阀,和尾气管道上的手动球阀,控制尾气是直接去往三废处理,还是进汽化器后去尾气处理。管道及阀门增加完成后,可以通过这一系列的阀门,控制进入氢化炉的是物料还是氢气、氮气,以及从氢化炉出来的尾气是去尾气处理工序,还是置换气直接排往三废处理。实现了灵活的控制,单炉单独开、停炉。本实用新型的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉,结构简单,控制灵活,且可实现单炉单独开炉、停炉,能保证在单炉故障而停炉时,能够关掉故障的氢化炉,而无故障的氢化炉进行运行,尽可能增大处理量,生产效率高。
本实用新型的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉,氢化炉出气管上的手动球阀,设置于排气管道和氢化炉出气管的连接处与STC汽化器之间。
由于采用了上述结构,在氢化炉出炉的尾气管道上,进入汽化器之前,增加一个手动球阀,在氢化炉出炉尾气管道上,新增的手动球阀之前,接出一根管道,并在这根新增尾气管道上,安装一个手动球阀,从而能够控制氢化炉出炉的尾气是进入到STC汽化器还是之间通过尾气处理,因此能够控制尾气的处理,即可实现单炉单独开炉、停炉,能保证在单炉故障而停炉时,能够关掉故障的氢化炉,而无故障的氢化炉进行运行。
本实用新型的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉,氢气管和氮气管上,通过进气管道连接于两氢化炉进气管上,该进气管道上设置有手动球阀。
由于采用了上述结构,从氮气管道上,接出一根管道,接至汽化器到每台氢化炉的进料管线上、两个手动球阀之间,每根氮气管道上安装一个手动球阀。依靠手动球阀控制氮气进入需要进入的氢化炉;从氢气管道上,接出一根管道,接至1中新增的氮气管道上,在并在氢气管道上安装一个手动球阀,依靠这个手动球阀和氮气管道上的两个手动球阀,控制氢气进入需要进入的氢化炉。
本实用新型的由双炉运行改成单炉运行的氢化炉,进气管道上的手动球阀分别控制氢气管和氮气管向两氢化炉进气管的供气。
由于采用了上述结构,可以通过控制进气管道上的手动球阀,分别控制氢气管和氮气管的供气与否,供气量的大小,且同时控制向两氢化炉进气管所供应的氢气和氮气的大小,从而依靠这根新增管道上的手动球阀,和尾气管道上的手动球阀,控制尾气是直接去往三废处理,还是进汽化器后去尾气处理。管道及阀门增加完成后,可以通过这一系列的阀门,控制进入氢化炉的是物料还是氢气、氮气,以及从氢化炉出来的尾气是去尾气处理工序,还是置换气直接排往三废处理。实现了灵活的控制,单炉单独开、停炉。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
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