[实用新型]液体取样分析装置有效
| 申请号: | 201120336833.7 | 申请日: | 2011-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN202182834U | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
| 发明(设计)人: | 翁超 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N1/10 | 分类号: | G01N1/10 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 液体 取样 分析 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及液体成分监控技术领域,尤其涉及一种液体取样分析装置。
背景技术
目前,在很多工业生产的过程中都需要对生产环节中的液体酸碱度进行实时的监控,以确保生产效率和产品质量。
例如,在液晶显示器的生产过程中,刻蚀工艺是必不可少的一个环节,而湿法刻蚀工艺对湿法刻蚀设备中用的刻蚀液的酸碱度有很高的要求。在刻蚀的过程中,刻蚀液的酸碱度必须控制在一定范围内,所以要对刻蚀液的酸碱度进行实时的监控,如果监控不及时,刻蚀液的酸碱度稍有波动就会造成金属层过刻、残留等后果,对生产造成极大的损失。
在现有技术中,对刻蚀液的分析和监控,主要是通过使用泵把刻蚀液从刻蚀设备的刻蚀液腔室中抽取出来,然后将取出的刻蚀液样本放置在外部设备中进行分析,在这个过程中,刻蚀液样本需要经过一段距离才能被放置在分析装置中进行分析,使刻蚀液样本不能被及时的分析,导致刻蚀液的样本的分析结果与腔室中的刻蚀液的实际酸碱度之间产生误差。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供一种液体取样分析装置,能够及时准确的分析并反映被测液体的酸碱度。
为达到上述目的,本实用新型的实施例采用如下技术方案:
一种液体取样分析装置,包括:
用于对液体进行取样的取样装置、用于容纳液体并分析液体酸碱度的分析装置、用于控制所述分析装置内部压力的压力控制装置、用于感应所述分析装置内液体液位的感应装置和用于控制所述取样装置开启和关闭并控制所述压力控制装置进行加压和减压的阀门控制装置;
所述取样装置与所述分析装置的底部连接,所述压力控制装置与所述分析装置的顶部连接,所述感应装置与所述分析装置连接,所述阀门控制装置分别与所述感应装置、所述取样装置和所述压力控制装置连接。
所述取样装置包括:
进液管道、设置在进液管道上的第一阀门和第一液位感应器,所述进液管道的一端与容置待测液体的容器连接,另一端与所述分析装置底部连接,所述第一液位感应器设置在所述第一阀门靠近所述容置待测液体的容器的一侧,所述第一阀门和所述第一液位感应器分别与所述阀门控制装置连接。
所述分析装置包括:
分析腔室、设置在所述分析腔室上的第二阀门和与分析腔室连接的用于分析所述分析腔室内液体酸碱度的分析器,所述分析器位于所述第二阀门下方,所述第二阀门和所述分析器分别与所述阀门控制装置连接。
所述压力控制装置包括:
排气管道、第三阀门、第二液位感应器、进气管道、第四阀门和加压装置;
所述排气管道设置在所述分析装置的顶部,所述第三阀门和所述第二液位感应器设置在所述排气管道上,所述第二液位感应器设置在所述第三阀门靠近所述分析装置的一侧,所述进气管道一端设置在所述分析装置的顶部,另一端与所述加压装置连接,所述第四阀门设置在所述进气管道上,所述第三阀门和所述第四阀门分别与所述阀门控制装置连接。
所述感应装置包括:
感应管道和设置在所述感应管道上的第三液位感应器,所述感应管道上端与所述分析装置中部连接,所述感应管道下端与所述分析装置底部连接,所述第三液位感应器与所述阀门控制装置连接。
所述排气管道与所述进气管道的位置都高于所述分析装置中设置的第二阀门的位置。
所述感应管道上端的位置低于所述分析装置中设置的第二阀门的位置。
所述分析器包括:用于感应酸碱度的感应器、与所述感应器连接的用于分析所述感应器感应到的酸碱度并将酸碱度转化为显示信号的酸碱度分析装置和与所述酸碱度分析装置连接的用于将所述显示信号显示出来的显示装置,所述酸碱度分析装置与所述阀门控制装置连接。
本实用新型实施例提供的液体取样分析装置,利用压力控制装置对分析装置内部进行加压和减压,从而使分析装置内部与容置待测液体的容器之间产生压差,使待测液体通过取样装置进入分析装置内部,从而实现对待测液体的取样和分析,并且本实用新型实施例提供的液体取样分析装置直接设置在容置待测液体的容器上,使待测液体从取样到分析的整个过程经历的时间缩短,从而使待测液体的酸碱度能够及时准确的被分析并反映给生产操作人员。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
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