[实用新型]一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置有效
| 申请号： | 201120332766.1 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202208755U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 金光虎 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 磁性 保护膜 金属 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：该装置为一种自内向外依次设置有磁性保护膜（4）、基材（3）、金属掩膜（2）的层状结构，金属掩膜（2）的外表面设有电磁铁（1）。
2.根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述的金属掩膜（2）的材质为磁性金属，其厚度为0.02~1.5mm。
3. 根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述基材（3）为透明基板，其厚度为0.2~3mm。
4. 根据权利要求1所述的带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：所述磁性保护膜（4）厚度为10~300um。
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