[实用新型]压电薄膜式加速度传感器

权利要求书

1.一种压电薄膜式加速度传感器，包括电压输出单元（10）、悬臂梁（1）和质量块（2），所述的质量块（2）固定连接在悬臂梁（1）自由端上表面的一侧，其特征在于：所述悬臂梁（1）自由端的上表面另一侧固定有上压电薄膜（3），所述悬臂梁（1）自由端的下表面固定有下压电薄膜（4），所述上压电薄膜（3）的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的上导电层（5），所述下压电薄膜（4）的上表面和下表面涂设有一对位置相对应的下导电层（6），所述的上导电层（5）电连接有第一电荷放大器（7），所述的下导电层（6）电连接有第二电荷放大器（8），所述第一电荷放大器（7）和第二电荷放大器（8）的输出端电连接有运算电路，所述运算电路的输出端与电压输出单元（10）电连接。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜式加速度传感器，其特征在于：所述的上导电层（5）和下导电层（6）均为形状相同的铝膜层。

3.根据权利要求1或2所述的压电薄膜式加速度传感器，其特征在于：所述的运算电路为差分放大电路（9）。

4.根据权利要求1或2所述的压电薄膜式加速度传感器，其特征在于：所述的上压电薄膜（3）和所述的下压电薄膜（4）均为形状相同的AIN压电薄膜。

5.根据权利要求1或2所述的压电薄膜式加速度传感器，其特征在于：所述第一电荷放大器（7）为具有和第二电荷放大器（8）相同输入输出参数的电荷放大器。