[实用新型]一种真空涂层机有效
| 申请号： | 201120323418.8 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN202246838U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陈卫飞 | 申请（专利权）人： | 苏州鼎利涂层有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 涂层 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空涂层机，包括箱体、阴极装置和引弧装置，所述阴极装置连接电弧发生器，其特征在于，所述阴极装置包括多个靶材。
2.如权利要求1所述的真空涂层机，其特征在于，每个靶材均单独连接一个电弧发生器(2)。
3.如权利要求1所述的真空涂层机，其特征在于，所述靶材为圆形靶材。
4.如权利要求3所述的真空涂层机，其特征在于，所述圆形靶材的直径为55mm～70mm。
5.如权利要求4所述的真空涂层机，其特征在于，所述圆形靶材的直径为63mm。
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