[实用新型]一种可移动扫描电子显微镜机械泵废气排放装置有效
| 申请号: | 201120305046.6 | 申请日: | 2011-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN202398596U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
| 发明(设计)人: | 王志刚;张普庆;刘科高;张保议;王献忠;巩鹏程 | 申请(专利权)人: | 山东建筑大学 |
| 主分类号: | B08B15/02 | 分类号: | B08B15/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 250101 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 移动 扫描 电子显微镜 机械 废气 排放 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种可移动扫描电子显微镜机械泵废气排放装置,其特征是:废气排放装置设置在底座上,废气排放装置由PVC塑料罩体、活动挡板、插槽、抽风机、塑料软管组成;其中,活动挡板可以在插槽中移动,来适应不同真空机械泵的大小;抽风机设置在罩体正上方;底座固定在万向轮之上。
2.根据权利要求1所述的可移动扫描电子显微镜机械泵废气排放装置,其特征是:活动挡板上开有两个孔,可以使机械泵的滤芯通过。
3.根据权利要求1所述的可移动扫描电子显微镜机械泵废气排放装置,其特征是:抽风机电源与机械泵连接,在启动机械泵瞬间开启抽风机。
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