[实用新型]晶体硅太阳电池制备用真空吸笔有效
| 申请号: | 201120299056.3 | 申请日: | 2011-08-17 |
| 公开(公告)号: | CN202178244U | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
| 发明(设计)人: | 杨福志;熊亚丽 | 申请(专利权)人: | 云南天达光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 650236 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 晶体 太阳电池 制备 真空 | ||
技术领域:
晶体硅太阳电池制备用真空吸笔包括外径为Φ6毫米的PU管1,手动阀2,单向节流阀3,减径直通4,6,外径Φ4毫米的PU管5,吸管(一)7,吸管(二)8,小孔9,接头10,吸盘11,涉及晶体硅太阳能电池硅片的制作加工。
背景技术:
在太阳电池的制备中,难免硅片的接触,用手接触容易污染和损坏硅片,因此大部分厂家都使用真空吸笔进行操作;真空吸笔可分为气动吸笔和手动吸笔两大类。气动吸笔的气源要求是4-6公斤的压缩空气,手动吸笔的动力是橡胶皮囊。两者相比较气动吸笔动力十足但活动范围有限,手动吸笔活动方便但动力不如气动吸笔。相对在晶体硅太阳电池生产过程而言,传统的真空吸笔存在制作材料粗糙、吸盘材质差、结构方式单一等问题。
发明内容:
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了以下技术方案:整套的真空吸笔是由外径为Φ6毫米的PU管,手动阀,单向节流阀,减径直通,外径Φ4毫米的PU管,吸管(一),吸管(二),小孔,接头,吸盘所构成。外径Φ6毫米的PU管与车间内的真空管道相连接,当需要准备使用真空吸笔时,将手动阀的旋钮旋转90°,通过调节单向节流阀以改变吸力的大小。用手指拿住真空吸笔,将吸盘轻压放置在硅片上,用食指按住吸管(二)上的小孔就可将硅片吸在吸盘上。如果按住小孔的食指放开,空气就会从小孔进入到真空吸笔内,已吸附在吸盘上的硅片就会从吸盘上落下。为使真空吸笔操作灵活,通过减径直通,使连接在真空吸笔上的PU管外径只为4毫米。吸管选用1Cr18Ni9的不锈钢材质制作,并采用组合式的结构。由于硅片又薄又脆,为了减小吸片时吸盘对硅片的正压力,选用的吸盘为1.5个皱折。而且吸盘与真空吸笔的连接也是采用组合式,当吸盘破损后,只需更换吸盘即可,降低了真空吸笔的使用成本。
本发明的有益效果为,晶体硅太阳电池制备用真空吸笔采用组合式结构,部件损坏方便更换,采用适当的吸盘皱折,减少了操作中的损耗;自制真空吸笔使用简单为公司节约了生产成本,提高了生产的效率。
附图说明:
图一为本实用新型的结构示意图,主要说明其结构。
图一中1为外径为Φ6毫米的PU管,2为手动阀,3为单向节流阀,4为减径直通,5为外径Φ4毫米的PU管,6为减径直通,7为吸管(一),8为吸管(二),9为小孔,10为接头,11为吸盘。
具体实施方式:
实施例一,如图一所示,整套的真空吸笔是由外径为Φ6毫米的PU管1,手动阀2,单向节流阀3,减径直通4,6,外径Φ4毫米的PU管5,吸管(一)7,吸管(二)8,小孔9,接头10,吸盘11所构成。外径Φ6毫米的PU管1与车间内的真空管道相连接,当需要准备使用真空吸笔时,将手动阀2的旋钮旋转90°,通过调节单向节流阀以改变吸力的大小。用手指拿住真空吸笔,将吸盘轻压放置在硅片上,用食指按住吸管(二)8上的小孔9就可将硅片吸在吸盘上。如果按住小孔9的食指放开,空气就会从小孔进入到真空吸笔内,已吸附在吸盘上的硅片就会从吸盘上落下。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





