[实用新型]一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟（6），其特征在于：在石英舟（6）的正上方及正下方或在石英舟（6）的正下方及正上方分别设有进气喷淋管（1）及抽气管（7），进气喷淋管（1）及抽气管（7）的一端分别用堵头（4）堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管（1）上开有至少一排进气孔（9），在抽气管（7）上开有至少一排抽气孔（8）。

2.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述扩散炉管为圆柱形石英扩散炉管（2）。

3.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述炉门为自动炉门（3）。

4.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述抽气孔（8）为至少两排。

5.如权利要求1或4所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述抽气孔（8）的开口方向朝上，其开口方向与竖直方向成45°夹角，所述抽气孔（8）的孔径<3mm，同一排上邻近两个所述抽气孔（8）之间的间距<5mm。