[实用新型]一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置

权利要求书

1. 一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置，包括镀膜机镀膜室和蒸发源金属靶，其特征是：所述的蒸发源金属靶的靶面上钻有孔（13），其中嵌有一瓷管（14），瓷管内孔涂覆一层石墨导电漿料层（15），石墨漿料电连通金属靶，瓷管内孔悬空挿入一电极（16），电极经串联限流电阻后连接至一直流高压引弧电源（9）正极，所述的直流高压引弧电源（9）阴极连接所述的镀膜机镀室壁且接地；设有引弧控制电路（12）控制高压直流引弧电源（9）的开关。

2.根据权利要求1所述的阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置，其特征是：所述的真空镀膜机镀膜室（1）的镀室壁（2）上安装有矩形平面阴极电弧蒸发源，该蒸发源与镀室壁（2）由密封绝缘件（3）隔离，阴极电弧蒸发源由阴极电弧靶体（4）与蒸发物料造的金属靶块（5）组成，蒸发源的金属靶靶面朝向镀室中央，阴极电弧电源（11）负极连接电弧靶体（4），正极连接镀室壁（2）且接地，引弧控制电路（12）设于电弧电源。