[实用新型]单晶坩埚自动高压清洗机

权利要求书

1.一种单晶坩埚自动高压清洗机，其包括机柜以及设置于机柜内放置待清洗坩埚的旋转平台，所述旋转平台连接驱动电机，其特征在于：所述旋转平台的周边设置有若干个清洗管，所述清洗管上开设有若干个喷淋清洗孔，所述机柜的顶部设置有顶部喷嘴，所述旋转平台的中心处设置有底部喷嘴，所述清洗管、顶部喷嘴和底部喷嘴均与纯水增压泵相连通，所述纯水增压泵连接纯水源，所述机柜内于旋转平台的下方设置有排污口。

2.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述旋转平台由若干个自上而下直径依次减小的圆盘叠加而成，各个圆盘上对应开设有通孔，利用固定螺栓和固定螺母将所有圆盘连接为一体。

3.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述清洗管设置为三个，均布于旋转平台周边。

4.根据权利要求1所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述清洗管的下半段平行于待清洗坩埚的侧壁，上半段配合待清洗坩埚的底部为弧形结构。

5.根据权利要求1或2任一项所述的单晶坩埚自动高压清洗机；其特征在于：所述旋转平台的中心处安装有中空的转动轴，所述转动轴连接皮带轮，所述皮带轮连接驱动电机的动力输出轴，且所述转动轴的空腔内设置有输液管，所述输液管与底部喷嘴相连通。