[实用新型]单晶炉接晶盘自动旋转装置有效
| 申请号： | 201120278547.X | 申请日： | 2011-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN202175753U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 蒋剑;吴世海;赵建峰 | 申请（专利权）人： | 西安理工晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710077 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉接晶盘 自动 旋转 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉接晶盘自动旋转装置，其特征在于：
包括U型接晶盘(1)，U型接晶盘(1)的底板上设置有缓冲套(13)，缓冲套(13)对应副炉室内径中心线位置设置，在副炉室(7)的两侧分别安装有随动轴安装底板(6)和气缸安装底板(8)；
U型接晶盘(1)一边端面与随动端轴套(2)的外端连接，随动端轴套(2)通过法兰轴承(3)套装在随动轴(5)上，随动轴(5)安装在随动轴安装底板(6)上；
U型接晶盘(1)另一边端面与气缸端轴套(11)连接，气缸端轴套(11)通过键(12)与回转气缸(10)的输出轴连接，回转气缸(10)与气缸过渡板(9)连接，气缸过渡板(9)与气缸安装底板(8)连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉接晶盘自动旋转装置，其特征在于：所述的随动端轴套(2)与U型接晶盘(1)的连接面设置有压垫(4)。
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